Високопрецизна лазерна перфорация за стъкло и пластмаса
Характеристика:
1. Високомощен и високостабилен UV лазер се използва за директна аблация на изпарения материал, със зона на топлинно въздействие на ниво μm и минимално място за обработка от 5 μm.
2. Изместването на лъча се контролира с висока скорост и висока точност от прецизния галванометър, за да се реализира високоскоростно прецизно ецване на малък формат.
3. Прецизното позициониране и обработка на високопрецизни микро-дупки се реализира чрез транслация на етапа на високопрецизна транслация;
4. Оста Z е електрически регулируема за прецизно фокусиране, за да отговори на изискванията за обработка на материали с различна дебелина.
5. Високопрецизното фокусиране на индустриалната камера с висока разделителна способност на далекомер гарантира дългосрочна стабилност и точност на системата.
6. Системата използва мраморни плотове за подобряване на цялостната стабилност на системата и всички механични компоненти са внимателно подбрани, за да осигурят дългосрочна точност.
7. Може да се използва за обработка на метали, керамика, органични вещества, стъкло и други материали за постигане на ецване, слепи отвори, проходни отвори, шлицове, рязане и др.
8. Минималната ширина на линията за обработка е по-малка от 5 μm.
Обхват на приложение:
Рязане на гъвкави полупроводникови платки, ецване на ITO филм, производство на микроелектронни устройства, подготовка на шаблони за печат, подготовка на биочипове, прецизни микро
Формиране на мухъл
 | ||||
| Предмети | Параметър | FM-UVD5 | FM-UVSD5 | FM-UPVD12 |
| Лазер | вълна | 355 nm | 355 nm | 355 nm |
| Мощност | 5W при 30kHz | 5W при 30kHz | 12W@100kHz | |
| модулираща честота | 1~200kHz | 1~200kHz | 1~2000kHz | |
| Продължителност на импулса | 20ns@30kHz | 20ns@30kHz | 7ns при 100kHz | |
| качество на лъча | <1.3 | <1.3 | <1.3 | |
| Галво | Област на сканиране | <50*50 мм | <50*50 мм | <50*50 мм |
| Точност на повторяемост | <1um | <1um | <1um | |
| Скорост на сканиране | ≤3m/s | ≤3m/s | ≤3m/s | |
| Скорост на позициониране | ≤6m/s | ≤6m/s | ≤6m/s | |
| XY маси | Пътуване | – | 300*300мм | 300*300мм |
| Точност на повторяемост | – | ≤±5um | ≤±1um | |
| Точност на позициониране | – | ≤±25um | ≤±3um | |
| Z ос | Пътуване | 50 мм | 50 мм | 50 мм |
| Точност на повторяемост | ≤±3um | ≤±3um | ≤±3um | |
| Точност на позициониране | ≤±15um | ≤±15um | ≤±15um | |
| CCD наблюдение позициониране | Камера | пет мегапиксела | пет мегапиксела | пет мегапиксела |
| Оптично увеличение | 8X | 8X | 8X | |
| Обработка | Минимално място | 5um | 5um | 5um |
| Точност на обработка на отворите | ±5um | ±5um | ±5um | |
| Точност на повторяемост | ≤±2um | ≤±2um | ≤±2um | |
| Налични материали за обработка | Стъкло метал, 有机物等 | |||
| Приложение | Бутилка от тръба | ok | добре | добре |
| умря бутилка | ok | добре | добре | |
| Пластмасова бутилка | не е добре | ok | добре | |
| Меки чанти | Не е налично | ok | добре | |
| Охлаждаща система | Воден охладител (охлаждащ капацитет 1500 W) | |||
| Захранване | 220V, 50~60HZ, 1 фаза или по поръчка | |||
| Мярка (mm) | 1500*1000*1800 | 1600*1300*1800 | ||
| Тегло (KG) | 1500 | 2000 г | ||
| Микроскопско измерване на обработени проби |   | |||
Забележка: Постоянна температура (25±0,5℃), получена след предварително загряване в продължение на 30 минути
