Visoko natančno lasersko perforiranje za steklo in plastiko
Lastnosti:
1. Zmogljiv in visoko stabilen UV-laser se uporablja za neposredno ablacijo uparjenega materiala z območjem toplotnega vpliva na ravni μm in najmanjšo točko obdelave 5 μm.
2. Premik žarka je nadzorovan pri visoki hitrosti in visoki natančnosti z natančnim galvanometrom, da se doseže visokohitrostno natančno jedkanje majhnega formata.
3. Natančno pozicioniranje in obdelava visoko natančnih mikro lukenj se izvede s prevajanjem visoko natančne prevajalske stopnje;
4. Os Z je električno nastavljiva za natančno ostrenje, da zadosti zahtevam obdelave materialov različnih debelin.
5. Visoko natančno ostrenje industrijske kamere visoke ločljivosti z daljinomerom zagotavlja dolgoročno stabilnost in natančnost sistema.
6. Sistem uporablja marmorne pulte za izboljšanje splošne stabilnosti sistema, vse mehanske komponente pa so skrbno izbrane, da se zagotovi dolgoročna natančnost.
7. Uporablja se lahko za obdelavo kovin, keramike, organskih snovi, stekla in drugih materialov za jedkanje, slepe luknje, skoznje luknje, rezanje, rezanje itd.
8. Najmanjša širina linije obdelave je manjša od 5 μm.
Obseg uporabe:
Rezanje upogljivega polprevodniškega vezja, jedkanje ITO filma, izdelava mikroelektronskih naprav, priprava tiskarskih predlog, priprava biočipov, precizni mikro
Oblikovanje plesni
 | ||||
| Predmeti | Parameter | FM-UVD5 | FM-UVSD5 | FM-UPVD12 |
| Laser | val | 355nm | 355nm | 355nm |
| Moč | 5W pri 30kHz | 5W pri 30kHz | 12 W pri 100 kHz | |
| modulirajoča frekvenca | 1~200kHz | 1~200kHz | 1 ~ 2000 kHz | |
| Širina impulza | 20 ns pri 30 kHz | 20 ns pri 30 kHz | 7ns pri 100kHz | |
| kakovost žarka | <1,3 | <1,3 | <1,3 | |
| Galvo | Območje skeniranja | <50*50 mm | <50*50 mm | <50*50 mm |
| Natančnost ponovljivosti | <1um | <1um | <1um | |
| Hitrost skeniranja | ≤3m/s | ≤3m/s | ≤3m/s | |
| Hitrost pozicioniranja | ≤6m/s | ≤6m/s | ≤6m/s | |
| XY mize | Potovanje | – | 300*300 mm | 300*300 mm |
| Natančnost ponovljivosti | – | ≤±5um | ≤±1um | |
| Natančnost pozicioniranja | – | ≤±25um | ≤±3um | |
| Z os | Potovanje | 50 mm | 50 mm | 50 mm |
| Natančnost ponovljivosti | ≤±3um | ≤±3um | ≤±3um | |
| Natančnost pozicioniranja | ≤±15um | ≤±15um | ≤±15um | |
| CCD spremljanje položaja | Kamera | pet milijonov slikovnih pik | pet milijonov slikovnih pik | pet milijonov slikovnih pik |
| Optična povečava | 8X | 8X | 8X | |
| Obravnavati | Minimalno mesto | 5um | 5um | 5um |
| Natančnost obdelave lukenj | ±5um | ±5um | ±5um | |
| Natančnost ponovljivosti | ≤±2um | ≤±2um | ≤±2um | |
| Razpoložljivi materiali za obdelavo | Steklena kovina, 有机物等 | |||
| Aplikacija | Steklenica iz cevi | ok | dobro | dobro |
| die bottle | ok | dobro | dobro | |
| Plastenka | slabo | ok | dobro | |
| Mehke torbe | Ni na voljo | ok | dobro | |
| Hladilni sistem | Vodno hladilno sredstvo (1500 W hladilna zmogljivost) | |||
| Napajanje | 220V, 50~60HZ, 1 faza ali po meri | |||
| Mera (mm) | 1500*1000*1800 | 1600*1300*1800 | ||
| Teža (KG) | 1500 | 2000 | ||
| Mikroskopsko merjenje dodelave obdelanih vzorcev |   | |||
Opomba: Konstantna temperatura (25±0,5℃), pridobljena po 30-minutnem predgrevanju
