Højpræcisions laserperforering til glas og plast

Funktioner:

1. Højeffekt og højstabil UV-laser bruges til at fjerne det fordampede materiale direkte med en varmepåvirket zone på μm-niveau og et minimumsbehandlingssted på 5μm.

2. Stråleskiftet styres ved høj hastighed og høj præcision af præcisionsgalvanometeret for at realisere højhastighedspræcisionsætsning i lille format.

3. Den præcise positionering og behandling af højpræcisionsmikrohuller realiseres ved oversættelsen af ​​højpræcisionsoversættelsestrinnet;

4. Z-aksen er elektrisk justerbar for præcis fokusering for at opfylde forarbejdningskravene for materialer med forskellige tykkelser.

5. Højpræcisionsfokuseringen af ​​afstandsmålerens højopløsningsindustrikamera sikrer langsigtet stabilitet og nøjagtighed af systemet.

6. Systemet anvender marmorbordplader for at forbedre systemets overordnede stabilitet, og alle mekaniske komponenter er nøje udvalgt for at sikre langsigtet nøjagtighed.

7. Det kan bruges til at behandle metaller, keramik, organiske materialer, glas og andre materialer for at opnå ætsning, blinde huller, gennemgående huller, slidsning, skæring osv.

8. Den mindste behandlingslinjebredde er mindre end 5μm.

Anvendelsesområde:

Skæring af fleksible kredsløbskort i halvledere, ITO-filmætsning, fremstilling af mikroelektroniske enheder, klargøring af printskabeloner, forberedelse af biochip, præcisionsmikro

Formdannelse

genstande	Parameter	FM-UVD5	FM-UVSD5	FM-UPVD12
Laser	bølge	355 nm	355 nm	355 nm
	Strøm	5W ved 30kHz	5W ved 30kHz	12W ved 100kHz
	modulerende frekvens	1~200kHz	1~200kHz	1~2000kHz
	Pulsbredde	20 ns ved 30 kHz	20 ns ved 30 kHz	7 ns ved 100 kHz
	strålekvalitet	＜1.3	＜1.3	＜1.3
Galvo	Scan område	＜50*50 mm	＜50*50 mm	＜50*50 mm
	Gentagelsesnøjagtighed	＜1um	＜1um	＜1um
	Scanningshastighed	≤3m/s	≤3m/s	≤3m/s
	Positioneringshastighed	≤6m/s	≤6m/s	≤6m/s
XY tabeller	Rejse	–	300*300 mm	300*300 mm
	Gentagelsesnøjagtighed	–	≤±5um	≤±1um
	Positioneringsnøjagtighed	–	≤±25um	≤±3um
Z-akse	Rejse	50 mm	50 mm	50 mm
	Gentagelsesnøjagtighed	≤±3um	≤±3um	≤±3um
	Positioneringsnøjagtighed	≤±15um	≤±15um	≤±15um
CCD overvågning af positionering	Kamera	fem megapixel	fem megapixel	fem megapixel
	Optisk forstørrelse	8X	8X	8X
Forarbejdning	Minimum plads	5 um	5 um	5 um
	Nøjagtighed i hulbehandling	±5um	±5um	±5um
	Gentagelsesnøjagtighed	≤±2um	≤±2um	≤±2um
	Tilgængelige materialer til forarbejdning	Glasmetal , 有机物等
Ansøgning	Rørflaske	ok	godt	godt
	dø flaske	ok	godt	godt
	Plastflaske	ikke godt	ok	godt
	Bløde tasker	Ingen tilgængelig	ok	godt
Kølevæskesystem	Vandkølende (1500W kølekapacitet)
Strømforsyning	220V, 50~60HZ, 1 fase eller tilpasset
Mål (mm)	1500*1000*1800			1600*1300*1800
Vægt (KG)	1500			2000
Mikroskopisk måling efterbehandling af behandlede prøver

Bemærk: Konstant temperatur (25±0,5 ℃), opnået efter forvarmning i 30 minutter