Vysoce přesná laserová perforace pro sklo a plast
Funkce:
1. Vysoce výkonný a vysoce stabilní UV laser se používá k přímému ablaci odpařeného materiálu s tepelně ovlivněnou zónou na úrovni μm a minimálním bodem zpracování 5 μm.
2. Posun paprsku je řízen vysokou rychlostí a vysokou přesností přesným galvanometrem pro realizaci vysokorychlostního přesného leptání malého formátu.
3. Přesné umístění a zpracování vysoce přesných mikrootvorů je realizováno translací vysoce přesného translačního stupně;
4. Osa Z je elektricky nastavitelná pro přesné zaostření, aby vyhovovala požadavkům na zpracování materiálů s různou tloušťkou.
5. Vysoce přesné ostření průmyslové kamery s vysokým rozlišením dálkoměru zajišťuje dlouhodobou stabilitu a přesnost systému.
6. Systém využívá mramorové desky pro zlepšení celkové stability systému a všechny mechanické součásti jsou pečlivě vybírány, aby byla zajištěna dlouhodobá přesnost.
7. Může být použit pro zpracování kovů, keramiky, organických látek, skla a dalších materiálů pro dosažení leptání, slepých otvorů, průchozích otvorů, drážkování, řezání atd.
8. Minimální šířka linky zpracování je menší než 5 μm.
Rozsah použití:
Řezání polovodičových flexibilních desek plošných spojů, leptání filmu ITO, výroba mikroelektronických zařízení, příprava tiskové šablony, příprava biočipů, přesné mikro
Formování plísní
 | ||||
| Položky | Parametr | FM-UVD5 | FM-UVSD5 | FM-UPVD12 |
| Laser | mávat | 355 nm | 355 nm | 355 nm |
| Napájení | 5W @ 30 kHz | 5W @ 30 kHz | 12W @ 100 kHz | |
| modulační frekvence | 1~200 kHz | 1~200 kHz | 1~2000 kHz | |
| Šířka pulzu | 20ns @ 30 kHz | 20ns @ 30 kHz | 7ns @ 100 kHz | |
| kvalita paprsku | ＜1.3 | ＜1.3 | ＜1.3 | |
| Galvo | Oblast skenování | ＜50*50 mm | ＜50*50 mm | ＜50*50 mm |
| Přesnost opakovatelnosti | ＜1 um | ＜1 um | ＜1 um | |
| Rychlost skenování | ≤3 m/s | ≤3 m/s | ≤3 m/s | |
| Rychlost polohování | ≤6 m/s | ≤6 m/s | ≤6 m/s | |
| XY stolů | Cestovat | – | 300*300 mm | 300*300 mm |
| Přesnost opakovatelnosti | – | ≤±5um | ≤±1um | |
| Přesnost polohování | – | ≤±25um | ≤±3um | |
| Osa Z | Cestovat | 50 mm | 50 mm | 50 mm |
| Přesnost opakovatelnosti | ≤±3um | ≤±3um | ≤±3um | |
| Přesnost polohování | ≤±15um | ≤±15um | ≤±15um | |
| CCD monitorování polohy | Fotoaparát | pětimegapixelový | pětimegapixelový | pětimegapixelový |
| Optické zvětšení | 8X | 8X | 8X | |
| zpracovává se | Minimální místo | 5 um | 5 um | 5 um |
| Přesnost zpracování otvorů | ±5 um | ±5 um | ±5 um | |
| Přesnost opakovatelnosti | ≤±2um | ≤±2um | ≤±2um | |
| Dostupné materiály ke zpracování | Kovové sklo, 有机物等 | |||
| aplikace | Trubková láhev | ok | dobrý | dobrý |
| zemřít láhev | ok | dobrý | dobrý | |
| Plastová láhev | špatný | ok | dobrý | |
| Měkké tašky | Není dostupné | ok | dobrý | |
| Systém chladicí kapaliny | Vodní chladicí kapalina (1500W chladicí výkon) | |||
| Zdroj napájení | 220 V, 50 ~ 60 Hz, 1 fáze nebo přizpůsobené | |||
| Míra (mm) | 1500*1000*1800 | 1600*1300*1800 | ||
| Váha (kg) | 1500 | 2000 | ||
| Mikroskopické měření dokončování zpracovávaných vzorků |   | |||
Poznámka: Konstantní teplota (25±0,5℃), dosažená po předehřívání po dobu 30 minut
