Vysoko presná laserová perforácia pre sklo a plast
Vlastnosti:
1. Vysokovýkonný a vysoko stabilný UV laser sa používa na priame odstraňovanie odpareného materiálu s tepelne ovplyvnenou zónou na úrovni μm a minimálnym bodom spracovania 5 μm.
2. Posun lúča je riadený vysokou rýchlosťou a vysokou presnosťou presným galvanometrom na realizáciu vysokorýchlostného presného leptania malého formátu.
3. Presné umiestnenie a spracovanie vysoko presných mikrootvorov je realizované prekladom vysoko presného translačného stupňa;
4. Os Z je elektricky nastaviteľná pre presné zaostrenie, aby vyhovovala požiadavkám na spracovanie materiálov s rôznymi hrúbkami.
5. Vysoko presné zaostrovanie priemyselnej kamery s vysokým rozlíšením diaľkomeru zaisťuje dlhodobú stabilitu a presnosť systému.
6. Systém využíva mramorové dosky na zlepšenie celkovej stability systému a všetky mechanické komponenty sú starostlivo vybrané, aby sa zabezpečila dlhodobá presnosť.
7. Môže sa použiť na spracovanie kovov, keramiky, organických látok, skla a iných materiálov na dosiahnutie leptania, slepých otvorov, priechodných otvorov, drážkovania, rezania atď.
8. Minimálna šírka linky spracovania je menšia ako 5 μm.
Rozsah použitia:
Rezanie polovodičových flexibilných dosiek plošných spojov, leptanie filmu ITO, výroba mikroelektronických zariadení, príprava tlačovej šablóny, príprava biočipu, presné mikro
Formovanie formy
 | ||||
| Položky | Parameter | FM-UVD5 | FM-UVSD5 | FM-UPVD12 |
| Laser | mávať | 355 nm | 355 nm | 355 nm |
| Moc | 5 W pri 30 kHz | 5 W pri 30 kHz | 12W pri 100kHz | |
| modulačná frekvencia | 1 ~ 200 kHz | 1 ~ 200 kHz | 1 ~ 2000 kHz | |
| Šírka pulzu | 20ns @ 30 kHz | 20ns @ 30 kHz | 7ns @ 100 kHz | |
| kvalita lúča | ＜1.3 | ＜1.3 | ＜1.3 | |
| Galvo | Oblasť skenovania | ＜50 * 50 mm | ＜50 * 50 mm | ＜50 * 50 mm |
| Presnosť opakovateľnosti | ＜1 um | ＜1 um | ＜1 um | |
| Rýchlosť skenovania | ≤ 3 m/s | ≤ 3 m/s | ≤ 3 m/s | |
| Rýchlosť polohovania | ≤6 m/s | ≤6 m/s | ≤6 m/s | |
| XY stolov | Cestovanie | – | 300*300 mm | 300*300 mm |
| Presnosť opakovateľnosti | – | ≤±5um | ≤±1um | |
| Presnosť polohovania | – | ≤±25um | ≤±3um | |
| os Z | Cestovanie | 50 mm | 50 mm | 50 mm |
| Presnosť opakovateľnosti | ≤±3um | ≤±3um | ≤±3um | |
| Presnosť polohovania | ≤±15um | ≤±15um | ≤±15um | |
| CCD monitorovanie polohy | fotoaparát | päť megapixelov | päť megapixelov | päť megapixelov |
| Optické zväčšenie | 8X | 8X | 8X | |
| Spracovanie | Minimálne miesto | 5 um | 5 um | 5 um |
| Presnosť spracovania otvorov | ± 5 um | ± 5 um | ± 5 um | |
| Presnosť opakovateľnosti | ≤±2um | ≤±2um | ≤±2um | |
| Dostupné materiály na spracovanie | Kovové sklo, 有机物等 | |||
| Aplikácia | Fľaša na fajku | ok | dobre | dobre |
| die fľaša | ok | dobre | dobre | |
| Plastová fľaša | nie dobré | ok | dobre | |
| Mäkké tašky | Nedostupné | ok | dobre | |
| Chladiaci systém | Vodná chladiaca kvapalina (chladiaci výkon 1500 W) | |||
| Zdroj | 220 V, 50 ~ 60 Hz, 1 fáza alebo prispôsobené | |||
| Miera (mm) | 1500*1000*1800 | 1600*1300*1800 | ||
| Hmotnosť (KG) | 1500 | 2000 | ||
| Mikroskopické meranie dokončovanie spracovávaných vzoriek |   | |||
Poznámka: Konštantná teplota (25±0,5℃), dosiahnutá po 30 minútach predhrievania
