הויך פּינטלעכקייַט לאַזער פּערפעריישאַן פֿאַר גלאז און פּלאַסטיק
איינריכטונגען:
1. הויך-מאַכט און הויך-סטאַביל ווו לאַזער איז געניצט צו גלייַך אַבלייט די וואַפּאָריזעד מאַטעריאַל, מיט אַ μm-מדרגה היץ-אַפעקטאַד זאָנע און אַ מינימום פּראַסעסינג אָרט פון 5μם.
2. די שטראַל יבעררוק איז קאַנטראָולד אין הויך גיכקייַט און הויך פּינטלעכקייַט דורך די פּינטלעכקייַט גאַלוואַנאָמעטער צו פאַרשטיין הויך-גיכקייַט פּינטלעכקייַט עטשינג פון קליין פֿאָרמאַט.
3. די גענוי פּאַזישאַנינג און פּראַסעסינג פון הויך-פּינטלעכקייַט מיקראָ-האָלעס איז איינגעזען דורך די איבערזעצונג פון די הויך-פּינטלעכקייַט איבערזעצונג בינע;
4. די ז-אַקס איז ילעקטריקלי אַדזשאַסטאַבאַל פֿאַר גענוי פאָוקיסינג צו טרעפן די פּראַסעסינג רעקווירעמענץ פון מאַטעריאַלס מיט פאַרשידענע טהיקנעססעס.
5. די הויך-פּינטלעכקייַט פאָוקיסינג פון די ראַנגעפינדער הויך-האַכלאָטע אינדוסטריעלע אַפּאַראַט ינשורז די לאַנג-טערמין פעסטקייַט און אַקיעראַסי פון די סיסטעם.
6. די סיסטעם אַדאַפּץ מירמלשטיין קאַונערטאַפּס צו פֿאַרבעסערן די קוילעלדיק פעסטקייַט פון די סיסטעם, און אַלע מעטשאַניקאַל קאַמפּאָונאַנץ זענען קערפאַלי אויסגעקליבן צו ענשור לאַנג-טערמין אַקיעראַסי.
7. עס קענען זיין געניצט צו פּראָצעס מעטאַלס, סעראַמיקס, אָרגאַניקס, גלאז און אנדערע מאַטעריאַלס צו דערגרייכן עטשינג, בלינד האָלעס, דורך האָלעס, סלאָטטינג, קאַטינג, אאז"ו ו.
8. די מינימום פּראַסעסינג שורה ברייט איז ווייניקער ווי 5μם.
אַפּפּליקאַטיאָן קייט:
סעמיקאַנדאַקטער פלעקסאַבאַל קרייַז ברעט קאַטינג, יטאָ פילם עטשינג, מאַנופאַקטורינג מיקראָעלעקטראָניק מיטל, פּרינטינג מוסטער צוגרייטונג, ביאָטשיפּ צוגרייטונג, פּינטלעכקייַט מיקראָ
פורעם פאָרמינג
 | ||||
| זאכן | פּאַראַמעטער | FM-UVD5 | FM-UVSD5 | FM-UPVD12 |
| לייזער | כוואַליע | 355nm | 355nm | 355nm |
| קראַפט | 5 וו @ 30 כז | 5 וו @ 30 כז | 12 וו @ 100 כז | |
| מאַדזשאַלייטינג אָפטקייַט | 1~200KHz | 1~200KHz | 1~2000KHz | |
| דויפעק ברייט | 20ns@30kHz | 20ns@30kHz | 7ns@100kHz | |
| שטראַל קוואַליטעט | ＜1.3 | ＜1.3 | ＜1.3 | |
| Galvo | סקאַן געגנט | ＜50*50מם | ＜50*50מם | ＜50*50מם |
| רעפּעאַטאַביליטי אַקיעראַסי | ＜1ום | ＜1ום | ＜1ום | |
| יבערקוקן גיכקייַט | ≤3מ/ס | ≤3מ/ס | ≤3מ/ס | |
| פּאַזישאַנינג גיכקייַט | ≤6מ/ס | ≤6מ/ס | ≤6מ/ס | |
| XY טישן | רייזע | — | 300*300מם | 300*300מם |
| רעפּעאַטאַביליטי אַקיעראַסי | — | ≤±5ום | ≤±1ום | |
| פּאַזישאַנינג אַקיעראַסי | — | ≤±25ום | ≤±3ום | |
| ז אַקס | רייזע | 50 מם | 50 מם | 50 מם |
| רעפּעאַטאַביליטי אַקיעראַסי | ≤±3ום | ≤±3ום | ≤±3ום | |
| פּאַזישאַנינג אַקיעראַסי | ≤±15ום | ≤±15ום | ≤±15ום | |
| קקד מאָניטאָרינג פּאַזישאַנינג | אַפּאַראַט | פינף-מעגאַפּיקסעל | פינף-מעגאַפּיקסעל | פינף-מעגאַפּיקסעל |
| אָפּטיש מאַגנאַפאַקיישאַן | 8X | 8X | 8X | |
| פּראַסעסינג | מינימום אָרט | 5um | 5um | 5um |
| לאָך פּראַסעסינג אַקיעראַסי | ±5um | ±5um | ±5um | |
| רעפּעאַטאַביליטי אַקיעראַסי | ≤±2ום | ≤±2ום | ≤±2ום | |
| בנימצא מאַטעריאַלס פֿאַר פּראַסעסינג | גלאז מעטאַל , 有机物等 | |||
| אַפּפּליקאַטיאָן | רער פלאַש | ok | גוט | גוט |
| שטאַרבן פלאַש | ok | גוט | גוט | |
| פּלאַסטיק פלאַש | נישט גוט | ok | גוט | |
| ווייך באַגס | ניט בנימצא | ok | גוט | |
| קולאַנט סיסטעם | וואַסער קולאַנט (1500 וו קאָאָלינג קאַפּאַציטעט) | |||
| מאַכט צושטעלן | 220 וו, 50 ~ 60 הז, 1 פאַסע אָדער קאַסטאַמייזד | |||
| מאָס (מם) | 1500*1000*1800 | 1600*1300*1800 | ||
| וואָג (קג) | 1500 | 2000 | ||
| מיקראָסקאָפּיק מעזשערמאַנט פינישינג פון פּראַסעסט סאַמפּאַלז |   | |||
באַמערקונג: קעסיידערדיק טעמפּעראַטור (25 ± 0.5 ℃), באקומען נאָך פּרעהעאַטינג פֿאַר 30 מינוט
