Cam ve plastik için yüksek hassasiyetli Lazer perforasyon
Özellikler:
1. Mikron düzeyinde ısıdan etkilenen bölge ve minimum 5 mikron işleme noktası ile buharlaşan malzemeyi doğrudan aşındırmak için yüksek güçlü ve yüksek kararlı UV lazer kullanılır.
2. Işın kayması, küçük formatta yüksek hızda hassas gravür gerçekleştirmek için hassas galvanometre tarafından yüksek hızda ve yüksek hassasiyette kontrol edilir.
3. Yüksek hassasiyetli mikro deliklerin hassas konumlandırılması ve işlenmesi, yüksek hassasiyetli çeviri aşamasının çevrilmesiyle gerçekleştirilir;
4. Z ekseni, farklı kalınlıktaki malzemelerin işleme gereksinimlerini karşılamak amacıyla hassas odaklama için elektriksel olarak ayarlanabilir.
5. Telemetre yüksek çözünürlüklü endüstriyel kameranın yüksek hassasiyetli odaklanması, sistemin uzun vadeli stabilitesini ve doğruluğunu sağlar.
6. Sistem, sistemin genel stabilitesini artırmak için mermer tezgahları benimser ve tüm mekanik bileşenler, uzun vadeli doğruluğu sağlamak için dikkatle seçilir.
7. Aşındırma, kör delikler, açık delikler, oluk açma, kesme vb. elde etmek için metalleri, seramikleri, organikleri, camı ve diğer malzemeleri işlemek için kullanılabilir.
8. Minimum işleme hattı genişliği 5μm'den azdır.
Uygulama alanı:
Yarı iletken esnek devre kartı kesimi, ITO film gravürü, mikroelektronik cihaz imalatı, baskı şablonu hazırlama, biyoçip hazırlama, hassas mikro
Kalıp şekillendirme
 | ||||
| Öğeler | Parametre | FM-UVD5 | FM-UVSD5 | FM-UPVD12 |
| Lazer | dalga | 355nm | 355nm | 355nm |
| Güç | 5W@30kHz | 5W@30kHz | 12W@100kHz | |
| modülasyon frekansı | 1~200kHz | 1~200kHz | 1~2000kHz | |
| Darbe genişliği | 20ns@30kHz | 20ns@30kHz | 7ns@100kHz | |
| ışın kalitesi | <1,3 | <1,3 | <1,3 | |
| Galvo | Tarama alanı | <50*50mm | <50*50mm | <50*50mm |
| Tekrarlanabilirlik doğruluğu | <1um | <1um | <1um | |
| Tarama hızı | ≤3m/s | ≤3m/s | ≤3m/s | |
| Konumlandırma hızı | ≤6m/s | ≤6m/s | ≤6m/s | |
| XY tabloları | Seyahat | – | 300*300mm | 300*300mm |
| Tekrarlanabilirlik doğruluğu | – | ≤±5um | ≤±1um | |
| Konumlandırma doğruluğu | – | ≤±25um | ≤±3um | |
| Z ekseni | Seyahat | 50 mm | 50 mm | 50 mm |
| Tekrarlanabilirlik doğruluğu | ≤±3um | ≤±3um | ≤±3um | |
| Konumlandırma doğruluğu | ≤±15um | ≤±15um | ≤±15um | |
| CCD izleme konumlandırma | Kamera | beş megapiksel | beş megapiksel | beş megapiksel |
| Optik büyütme | 8X | 8X | 8X | |
| İşleme | Minimum nokta | 5um | 5um | 5um |
| Delik işleme doğruluğu | ±5um | ±5um | ±5um | |
| Tekrarlanabilirlik doğruluğu | ≤±2um | ≤±2um | ≤±2um | |
| İşleme için mevcut malzemeler | Cam metal | |||
| Başvuru | Boru şişesi | ok | iyi | iyi |
| kalıp şişesi | ok | iyi | iyi | |
| Plastik şişe | iyi değil | ok | iyi | |
| Yumuşak çantalar | Uygun değil | ok | iyi | |
| Soğutma sistemi | Su soğutma sıvısı (1500W soğutma kapasitesi) | |||
| Güç kaynağı | 220V, 50~60HZ, 1 fazlı veya özelleştirilmiş | |||
| Ölçü (mm) | 1500*1000*1800 | 1600*1300*1800 | ||
| Ağırlık (kg) | 1500 | 2000 | ||
| İşlenmiş numunelerin mikroskobik ölçümü |   | |||
Not: Sabit sıcaklık (25±0,5°C), 30 dakika ön ısıtmadan sonra elde edilir
