Высокоточная лазерная перфорация стекла и пластика.
Функции:
1. Мощный и высокостабильный УФ-лазер используется для прямой абляции испаренного материала с зоной термического воздействия на уровне мкм и минимальным пятном обработки 5 мкм.
2. Смещение луча контролируется с высокой скоростью и точностью с помощью прецизионного гальванометра для реализации высокоскоростного прецизионного травления малого формата.
3. Точное позиционирование и обработка высокоточных микроотверстий осуществляется за счет перемещения высокоточного этапа перевода;
4. Ось Z электрически регулируется для точной фокусировки в соответствии с требованиями обработки материалов различной толщины.
5. Высокоточная фокусировка промышленной камеры высокого разрешения с дальномером обеспечивает долговременную стабильность и точность системы.
6. В системе используются мраморные столешницы для повышения общей стабильности системы, а все механические компоненты тщательно отбираются для обеспечения долгосрочной точности.
7. Его можно использовать для обработки металлов, керамики, органических материалов, стекла и других материалов для травления, глухих, сквозных отверстий, прорезей, резки и т. д.
8. Минимальная ширина линии обработки составляет менее 5 мкм.
Область применения:
Резка гибких полупроводниковых плат, травление пленок ITO, производство микроэлектронных устройств, подготовка шаблонов для печати, подготовка биочипов, прецизионные микросхемы
Формирование пресс-форм
 | ||||
| Предметы | Параметр | ФМ-УВД5 | ФМ-УВСД5 | ФМ-УПВД12 |
| Лазер | волна | 355 нм | 355 нм | 355 нм |
| Власть | 5 Вт при 30 кГц | 5 Вт при 30 кГц | 12 Вт при 100 кГц | |
| модулирующая частота | 1~200 кГц | 1~200 кГц | 1~2000 кГц | |
| Ширина импульса | 20 нс при 30 кГц | 20 нс при 30 кГц | 7 нс при 100 кГц | |
| качество луча | <1,3 | <1,3 | <1,3 | |
| Гальво | Область сканирования | <50*50 мм | <50*50 мм | <50*50 мм |
| Точность повторяемости | <1 мкм | <1 мкм | <1 мкм | |
| Скорость сканирования | ≤3 м/с | ≤3 м/с | ≤3 м/с | |
| Скорость позиционирования | ≤6 м/с | ≤6 м/с | ≤6 м/с | |
| XY-таблицы | Путешествовать | – | 300*300 мм | 300*300 мм |
| Точность повторяемости | – | ≤±5 мкм | ≤±1 мкм | |
| Точность позиционирования | – | ≤±25 мкм | ≤±3 мкм | |
| ось Z | Путешествовать | 50 мм | 50 мм | 50 мм |
| Точность повторяемости | ≤±3 мкм | ≤±3 мкм | ≤±3 мкм | |
| Точность позиционирования | ≤±15 мкм | ≤±15 мкм | ≤±15 мкм | |
| Позиционирование ПЗС-мониторинга | Камера | пятимегапиксельная | пятимегапиксельная | пятимегапиксельная |
| Оптическое увеличение | 8X | 8X | 8X | |
| Обработка | Минимальное место | 5ум | 5ум | 5ум |
| Точность обработки отверстий | ±5 мкм | ±5 мкм | ±5 мкм | |
| Точность повторяемости | ≤±2 мкм | ≤±2 мкм | ≤±2 мкм | |
| Доступные материалы для обработки | Стекло металл , 有机物等 | |||
| Приложение | Трубка-бутылка | ok | хороший | хороший |
| умереть бутылка | ok | хороший | хороший | |
| Пластиковая бутылка | не хорошо | ok | хороший | |
| Мягкие сумки | Нет в наличии | ok | хороший | |
| Система охлаждения | Водяной хладагент (охлаждающая способность 1500 Вт) | |||
| Источник питания | 220 В, 50–60 Гц, 1 фаза или по индивидуальному заказу. | |||
| Мера (мм) | 1500*1000*1800 | 1600*1300*1800 | ||
| Вес (кг) | 1500 | 2000 г. | ||
| Завершение микроскопических измерений обработанных образцов |   | |||
Примечание: постоянная температура (25±0,5℃), полученная после предварительного нагрева в течение 30 минут.
