Alta precizeca Lasera borado por vitro kaj plasto

Trajtoj:

1. Alt-potenca kaj altstabila UV-lasero estas uzata por rekte forigi la vaporigitan materialon, kun μm-nivela varmo-trafita zono kaj minimuma pretiga loko de 5μm.

2. La trabo-ŝanĝo estas kontrolita kun alta rapido kaj alta precizeco per la preciza galvanometro por realigi altrapidan precizecan akvaforton de malgranda formato.

3. La preciza poziciigado kaj prilaborado de altprecizecaj mikro-truoj realiĝas per la tradukado de la altpreciza traduketapo;

4. La Z-akso estas elektre alĝustigebla por preciza fokuso por plenumi la prilaborajn postulojn de materialoj kun malsamaj dikaĵoj.

5. La altpreciza fokuso de la alt-rezolucia industria fotilo de la telemezurilo certigas la longtempan stabilecon kaj precizecon de la sistemo.

6. La sistemo adoptas marmorajn tablojn por plibonigi la ĝeneralan stabilecon de la sistemo, kaj ĉiuj mekanikaj komponantoj estas zorge elektitaj por certigi longtempan precizecon.

7. Ĝi povas esti uzata por prilabori metalojn, ceramikaĵojn, organikaĵojn, vitrojn kaj aliajn materialojn por atingi akvaforton, blindajn truojn, tra truoj, fendado, tranĉado ktp.

8. La minimuma prilabora linio-larĝo estas malpli ol 5μm.

Aplika gamo:

Semikonduktaĵo fleksebla cirkvito-tranĉado, ITO-filmakvaforto, mikroelektronika aparato-fabrikado, presanta ŝablono-preparo, bioĉip-preparado, precizeca mikro

Formiĝo de ŝimo

Eroj	Parametro	FM-UVD5	FM-UVSD5	FM-UPVD12
Lasero	ondo	355 nm	355 nm	355 nm
	Potenco	5W@30kHz	5W@30kHz	12W@100kHz
	modula frekvenco	1~200kHz	1~200kHz	1~2000kHz
	Pulslarĝo	20ns@30kHz	20ns@30kHz	7ns@100kHz
	trabo kvalito	＜1.3	＜1.3	＜1.3
Galvo	Skanado areo	＜50*50mm	＜50*50mm	＜50*50mm
	Ripetebla precizeco	malpli ol 1um	malpli ol 1um	malpli ol 1um
	Skanrapideco	≤3m/s	≤3m/s	≤3m/s
	Pozicia rapideco	≤6m/s	≤6m/s	≤6m/s
XY-tabloj	Vojaĝi	–	300*300mm	300*300mm
	Ripetebla precizeco	–	≤±5um	≤±1um
	Pozicia precizeco	–	≤±25um	≤±3um
Z-akso	Vojaĝi	50mm	50mm	50mm
	Ripetebla precizeco	≤±3um	≤±3um	≤±3um
	Pozicia precizeco	≤±15um	≤±15um	≤±15um
CCD-monitora poziciigado	Fotilo	kvin-megapikseloj	kvin-megapikseloj	kvin-megapikseloj
	Optika pligrandigo	8X	8X	8X
Prilaborado	Minimuma loko	5um	5um	5um
	Truo-pretiga precizeco	± 5um	± 5um	± 5um
	Ripetebla precizeco	≤±2um	≤±2um	≤±2um
	Disponeblaj materialoj por prilaborado	Vitra metalo , 有机物等
Apliko	Pipbotelo	ok	bona	bona
	die botelo	ok	bona	bona
	Plasta botelo	Ne bona	ok	bona
	Molaj sakoj	Neniu disponebla	ok	bona
Fridiga sistemo	Akva fridigaĵo (1500W malvarmiga kapacito)
Elektroprovizo	220V, 50~60HZ, 1 fazo aŭ personecigita
Mezuro (mm)	1500*1000*1800			1600*1300*1800
Pezo (KG)	1500			2000
Mikroskopa mezurado finpoluro de prilaboritaj specimenoj

Noto: Konstanta temperaturo (25±0,5℃), akirita post antaŭvarmigo dum 30 minutoj