Micropore Laser Perforation Machine por duonkonduktaĵo

La minimuma pretiga mikropora diametro estas 5μm, la ĝenerala pretiga precizeco estas ± 4μm, la loka trajto precizeco estas malpli ol 3μm, kaj la prilabora larĝo estas 300 * 300mm..

Ĉefe uzata por: fabrikado de mikroelektronikaj aparatoj, preparado de ŝablonoj de presado, preparado de bioĉipo, formado de precizeca muldilo, fabrikado de precizecaj partoj de instrumentado.

1. Uzante alt-potencan kaj altstabilecan UV-laseron por rekte forigi la gasigan materialon, kun μm-nivela pretiga aperturo kaj μm-nivela varmeca zono;

2. Altrapida kaj altpreciza kontrolo de trabo-deklino per importitaj precizecaj galvanometroj por atingi altrapidan malgrandformatan precizecan mikro-truan prilaboradon;

3. Altrapida kaj altpreciza grandformata mikro-trua prilaborado estas realigita per la tradukado de la mikron-nivela altrapida lineara motora platformo;

4. La Z-akso estas elektre alĝustigebla por adaptiĝi al materialoj de malsamaj dikecoj kaj por plenumi specifajn taper-truajn pretigajn postulojn;

5. La gamo-aksa super-rezolucia industria fotilo estas uzata por plena kadra eraro-korektado de la galvanometro, ultra-altprecizeca fokuso kaj interreta mezurado por certigi la longtempan stabilecon kaj precizecon de la sistemo;

6. La sistemo adoptas marmorajn tablojn por plibonigi la ĝeneralan stabilecon de la sistemo, kaj ĉiuj mekanikaj komponantoj estas zorge elektitaj por certigi longtempan precizecon;

7. La minimuma pretiga mikropora diametro estas 5μm, la ĝenerala pretiga precizeco estas ±4μm, la loka trajto precizeco estas malpli ol 3μm, kaj la prilabora larĝo estas 300 * 300mm;

8. Ĝi estas uzata por preciza mikromaŝinado de metaloj, ceramikaĵoj, siliciaj oblatoj, vitro, organikaj kaj aliaj materialoj, kiel mikrotrua prilaborado kaj precizeca tranĉado.

Kompare kun EDM-mikrotrua pretigo, mekanika borado, kemia korodo, mekanika truado ktp., lasera precizeca mikrotrua maŝinado havas la jenajn avantaĝojn:

Alta rapido (ĝis 4000 truoj je sekundo)

Alta precizeco (<3μm)

Neniuj materialaj limigoj (metaloj, ceramikaĵo, siliciaj oblatoj, organikaĵoj, ktp.)

Programebla trua ŝablono (minimume 5μm, specifa mallarĝa truo)

Distribuo povas esti personecigita (pretiga larĝa 300mm * 300mm), neniu muldilo kaj masko necesas

Neniu poluo kaj neniuj konsumeblaj

rekta prilaborado

Noto: Konstanta temperaturo (25±0,5℃), akirita post antaŭvarmigo dum 30 minutoj