सेमीकंडक्टर के लिए माइक्रोपोर लेजर वेध मशीन
न्यूनतम प्रसंस्करण माइक्रोपोर व्यास 5μm है, समग्र प्रसंस्करण सटीकता ±4μm है, स्थानीय सुविधा सटीकता 3μm से कम है, और प्रसंस्करण चौड़ाई 300 * 300 मिमी है।.
मुख्य रूप से उपयोग किया जाता है: माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक डिवाइस निर्माण, प्रिंटिंग टेम्पलेट तैयारी, बायोचिप तैयारी, सटीक मोल्ड बनाना, इंस्ट्रूमेंटेशन सटीक भागों का निर्माण
1. μm-स्तरीय प्रसंस्करण एपर्चर और μm-स्तरीय ताप-प्रभावित क्षेत्र के साथ, गैसीकरण सामग्री को सीधे समाप्त करने के लिए उच्च-शक्ति और उच्च-स्थिरता यूवी लेजर का उपयोग करना;
2. उच्च गति वाले छोटे-प्रारूप सटीक सूक्ष्म-छिद्र प्रसंस्करण को प्राप्त करने के लिए आयातित सटीक गैल्वेनोमीटर के माध्यम से बीम विक्षेपण का उच्च गति और उच्च-सटीक नियंत्रण;
3. उच्च गति और उच्च परिशुद्धता बड़े प्रारूप वाले माइक्रो-होल प्रसंस्करण को माइक्रोन-स्तरीय उच्च गति रैखिक मोटर प्लेटफ़ॉर्म के अनुवाद द्वारा महसूस किया जाता है;
4. Z-अक्ष विभिन्न मोटाई की सामग्रियों के अनुकूल होने और विशिष्ट टेपर होल प्रसंस्करण आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए विद्युत रूप से समायोज्य है;
5. सिस्टम की दीर्घकालिक स्थिरता और सटीकता सुनिश्चित करने के लिए रेंज एक्सिस सुपर-रिज़ॉल्यूशन औद्योगिक कैमरे का उपयोग गैल्वेनोमीटर के पूर्ण-फ्रेम त्रुटि सुधार, अल्ट्रा-हाई-प्रिसिजन फोकसिंग और ऑनलाइन माप के लिए किया जाता है;
6. सिस्टम की समग्र स्थिरता में सुधार के लिए सिस्टम संगमरमर काउंटरटॉप्स को अपनाता है, और दीर्घकालिक सटीकता सुनिश्चित करने के लिए सभी यांत्रिक घटकों को सावधानीपूर्वक चुना जाता है;
7. न्यूनतम प्रसंस्करण माइक्रोपोर व्यास 5μm है, समग्र प्रसंस्करण सटीकता ±4μm है, स्थानीय सुविधा सटीकता 3μm से कम है, और प्रसंस्करण चौड़ाई 300 * 300 मिमी है;
8. इसका उपयोग धातुओं, सिरेमिक, सिलिकॉन वेफर्स, ग्लास, ऑर्गेनिक्स और अन्य सामग्रियों की सटीक माइक्रोमशीनिंग, जैसे माइक्रो-होल प्रोसेसिंग और सटीक कटिंग के लिए किया जाता है।
ईडीएम सूक्ष्म-छिद्र प्रसंस्करण, यांत्रिक ड्रिलिंग, रासायनिक संक्षारण, यांत्रिक छिद्रण, आदि की तुलना में, लेजर परिशुद्धता सूक्ष्म-छिद्र मशीनिंग के निम्नलिखित फायदे हैं:
उच्च गति (प्रति सेकंड 4000 छेद तक)
उच्च परिशुद्धता (<3μm)
कोई सामग्री प्रतिबंध नहीं (धातु, चीनी मिट्टी की चीज़ें, सिलिकॉन वेफर्स, ऑर्गेनिक्स, आदि)
प्रोग्राम योग्य छेद पैटर्न (न्यूनतम 5μm, विशिष्ट टेपर छेद)
वितरण को अनुकूलित किया जा सकता है (प्रसंस्करण चौड़ाई 300 मिमी * 300 मिमी), किसी मोल्ड और मास्क की आवश्यकता नहीं है
कोई प्रदूषण नहीं और कोई उपभोग्य वस्तु नहीं
प्रत्यक्ष प्रसंस्करण
| सामान | पैरामीटर | एफएम-यूवीएम3ए | एफएम-यूवीएम3बी |
| लेज़र | लहर | 355एनएम | |
| शक्ति | ＞3W@40kHz (3-40W वैकल्पिक) | ||
| मॉड्यूलेटिंग आवृत्ति | 1~200kHz | ||
| पल्स चौड़ाई | 15ns@40kHz | ||
| किरण गुणवत्ता | ＜1.2 | ||
| गैल्वो | क्षेत्र स्कैन करें | ＜50*50मिमी | ＜15*15मिमी |
| पुनरावृत्ति सटीकता | ＜1um | ||
| स्थिति निर्धारण सटीकता | ≤±3um | ||
| XY टेबल | यात्रा | 300*300मिमी (600*600मिमी वैकल्पिक) | |
| स्थिति निर्धारण संकल्प | 0.1um | ||
| पुनरावृत्ति सटीकता | ≤±1um | ||
| स्थिति निर्धारण सटीकता | ≤±3um | ||
| त्वरण | ≤1G | ||
| रफ़्तार | ≤200mm/s | ||
| Z अक्ष | यात्रा | 150 मिमी | |
| पुनरावृत्ति सटीकता | ≤±3um | ||
| स्थिति निर्धारण सटीकता | ≤±5um | ||
| सीसीडी निगरानी स्थिति | कैमरा | पांच मेगापिक्सेल | |
| ऑप्टिकल आवर्धन | 10X | ||
| क्षेत्र विभाजन | शुद्धता | ±3μm | |
| प्रसंस्करण | न्यूनतम स्थान | 8um | 5um |
| छेद प्रसंस्करण सटीकता | ±5um | ||
| पुनरावृत्ति सटीकता | ≤±1um | ||
| प्रसंस्करण के लिए उपलब्ध सामग्री | कांच, कार्बनिक पदार्थ, धातु, चीनी मिट्टी की चीज़ें, आदि। | ||
| GGGGआवेदन | पाइप की बोतल | ok | अच्छा |
| डाई बोतल | ok | अच्छा | |
| प्लास्टिक की बोतल | अच्छा नहीं है | ok | |
| नरम बैग | कोई उपलब्ध नहीं | ok | |
| शीतलक प्रणाली | जल शीतलक (1500W शीतलन क्षमता) | ||
| बिजली की आपूर्ति | 220V, 50~60HZ, 1 चरण या अनुकूलित | ||
| शक्ति | ≤2000W | ||
| माप(मिमी) | 1200*1200*1900मिमी | ||
| वजन (किग्रा) | 1200 किग्रा | ||
नोट: स्थिर तापमान (25±0.5℃), 30 मिनट तक पहले से गरम करने के बाद प्राप्त होता है
