Жартылай өткізгіштерге арналған микрокеуекті лазерлік перфорациялау машинасы

Өңдеудің ең аз микрокеуек диаметрі 5 мкм, жалпы өңдеу дәлдігі ± 4 мкм, жергілікті мүмкіндік дәлдігі 3 мкм-ден аз және өңдеу ені 300 * 300 мм..

Негізінен мыналар үшін қолданылады: микроэлектрондық құрылғыларды өндіру, басып шығару шаблондарын дайындау, биочиптерді дайындау, дәл қалыптау, приборлардың дәл бөлшектерін жасау

1. Мкм деңгейіндегі өңдеу апертурасы және мкм деңгейіндегі жылу әсер ету аймағы бар газдандыру материалын тікелей жою үшін жоғары қуатты және тұрақты УК лазерін пайдалану;

2. Жоғары жылдамдықты шағын форматты дәлдіктегі микро саңылауларды өңдеуге қол жеткізу үшін импорттық дәлдіктегі гальванометрлер арқылы сәуленің ауытқуын жоғары жылдамдықпен және жоғары дәлдікпен басқару;

3. Жоғары жылдамдықты және жоғары дәлдіктегі үлкен форматты микро саңылауларды өңдеу микрон деңгейіндегі жоғары жылдамдықты сызықты қозғалтқыш платформасын аудару арқылы жүзеге асырылады;

4. Z осі әртүрлі қалыңдықтағы материалдарға бейімделу және конустық саңылауларды өңдеудің арнайы талаптарын қанағаттандыру үшін электрлік реттеледі;

5. Диапазон осі өте жоғары ажыратымдылықтағы өнеркәсіптік камера жүйенің ұзақ мерзімді тұрақтылығы мен дәлдігін қамтамасыз ету үшін гальванометр қатесін толық кадрда түзету, ультра жоғары дәлдіктегі фокустау және онлайн өлшеу үшін пайдаланылады;

6. Жүйе жүйенің жалпы тұрақтылығын жақсарту үшін мәрмәр үстелшелерді қабылдайды және ұзақ мерзімді дәлдікті қамтамасыз ету үшін барлық механикалық компоненттер мұқият таңдалады;

7. Өңдеудің ең аз микрокеуек диаметрі 5 мкм, жалпы өңдеу дәлдігі ± 4 мкм, жергілікті ерекшелік дәлдігі 3 мкм-ден аз және өңдеу ені 300 * 300 мм;

8. Металлдарды, керамикаларды, кремний пластинкаларын, шыныларды, органикалық заттарды және микро саңылауларды өңдеу және дәл кесу сияқты басқа да материалдарды дәл микро өңдеу үшін қолданылады.

EDM микро саңылауларды өңдеу, механикалық бұрғылау, химиялық коррозия, механикалық тесу және т.

Жоғары жылдамдық (секундына 4000 тесікке дейін)

Жоғары дәлдік (<3μm)

Материалдық шектеулер жоқ (металдар, керамика, кремний пластиналары, органикалық заттар және т.б.)

Бағдарламаланатын тесік үлгісі (кемінде 5 мкм, арнайы конустық тесік)

Таратуды теңшеуге болады (өңдеу ені 300 мм * 300 мм), қалып пен маска қажет емес

Ластану және шығын материалдары жоқ

тікелей өңдеу

Ескертпе: 30 минут бойы алдын ала қыздырғаннан кейін алынған тұрақты температура (25±0,5℃)