Ярымүткәргеч өчен микропор лазер тишү машинасы
Эшкәртүнең минималь микропор диаметры 5μm, эшкәртү төгәллеге ± 4μm, җирле үзенчәлекнең төгәллеге 3μm, ә эшкәртү киңлеге 300 * 300 мм..
Нигездә кулланыла: микроэлектрон җайланмалар җитештерү, шаблон бастыру, биохип әзерләү, төгәл форма формалаштыру, приборларның төгәл детальләрен җитештерү
1. Газлаштыру материалын турыдан-туры аблатлау өчен, μm дәрәҗәсендә эшкәртү аппертурасы һәм μm дәрәҗәсендә җылылык тәэсир иткән зона белән, югары көчле һәм югары тотрыклы UV лазерын куллану;
2. importгары тизлектәге кечкенә форматтагы төгәл микро-тишек эшкәртүгә ирешү өчен, импортланган төгәл гальванометрлар аша нурның дефлекциясен югары тизлектә һәм югары төгәл контрольдә тоту.
3. speedгары тизлек һәм югары төгәллек зур форматтагы микро тишек эшкәртү микрон дәрәҗәсендәге югары тизлекле сызыклы мотор платформасы тәрҗемәсе аша тормышка ашырыла;
4. Z-күчәре төрле калынлыктагы материалларга яраклашу өчен һәм тишек эшкәртү өчен махсус таләпләрне канәгатьләндерү өчен электр белән көйләнә.
5. Диапазон күчәре супер резолюцияле индустриаль камера гальванометрны тулы рамкада төзәтү, ультра югары төгәллеккә юнәлтү, системаның озак вакытлы тотрыклылыгын һәм төгәллеген тәэмин итү өчен онлайн үлчәү өчен кулланыла.
6. Система гомуми тотрыклылыгын яхшырту өчен мәрмәр контактларны кабул итә, һәм озак вакытлы төгәллекне тәэмин итү өчен барлык механик компонентлар җентекләп сайланган;
7. Минималь эшкәртү микропорының диаметры 5μм, эшкәртү төгәллеге ± 4μm, җирле үзенчәлекнең төгәллеге 3μмнан ким, эшкәртү киңлеге 300 * 300 мм;
8. Ул металлларны, керамиканы, кремний вафиналарын, пыяла, органиканы һәм микро тишекне эшкәртү һәм төгәл кисү кебек материалларны төгәл микромахинацияләү өчен кулланыла.
EDM микро-тишек эшкәртү, механик бораулау, химик коррозия, механик типү һ.б. белән чагыштырганда, лазер төгәл микро тишек эшкәртү түбәндәге өстенлекләргә ия:
Speedгары тизлек (секундына 4000 тишек)
Highгары төгәллек (<3μm)
Материаль чикләүләр юк (металл, керамика, кремний вафин, органика һ.б.)
Программалаштырыла торган тишек үрнәге (минимум 5μм, махсус тишек)
Бүләкне көйләргә мөмкин (эшкәртү киңлеге 300 мм * 300 мм), форма һәм маска кирәк түгел
Пычрату һәм куллану материалы юк
туры эшкәртү
| Предметлар | Параметр | FM-UVM3A | FM-UVM3B |
| Лазер | дулкын | 355нм | |
| Көч | ＞ 3W @ 40kHz （3-40W өстәмә） | ||
| ешлыкны модульләштерү | 1 ~ 200кГц | ||
| Пульс киңлеге | 15нс @ 40кГц | ||
| нур сыйфаты | ＜ 1.2 | ||
| Гальво | Сканер өлкәсе | * 50 * 50 мм | * 15 * 15 мм |
| Кабатлану төгәллеге | ＜ 1ум | ||
| Позициянең төгәллеге | ≤ um 3ум | ||
| XY таблицалары | Сәяхәт | 300 * 300 мм （600 * 600 мм өстәмә） | |
| Позиция урнаштыру | 0,1ум | ||
| Кабатлану төгәллеге | ≤ ± 1ум | ||
| Позициянең төгәллеге | ≤ um 3ум | ||
| Тизләнү | ≤1G | ||
| Тизлек | ≤200 мм / с | ||
| Z күчәре | Сәяхәт | 150 мм | |
| Кабатлану төгәллеге | ≤ um 3ум | ||
| Позициянең төгәллеге | ≤ um 5ум | ||
| КДС мониторингы | Камера | биш мегапиксель | |
| Оптик зурайту | 10Х | ||
| регион бүленеше | төгәллек | ± 3μм | |
| Эшкәртү | Минималь урын | 8ум | 5ум |
| Тишек эшкәртү төгәллеге | ± 5ум | ||
| Кабатлану төгәллеге | ≤ ± 1ум | ||
| Эшкәртү өчен материаллар | Пыяла, органика, металл, керамика һ.б. | ||
| GGGGA | Торба шешәсе | ok | яхшы |
| шешә | ok | яхшы | |
| Пластик шешә | яхшы түгел | ok | |
| Йомшак капчыклар | Мөмкин түгел | ok | |
| Салкын система | Су суыткыч (1500W суыту сыйфаты) | ||
| Энергия чыганагы | 220В, 50 ~ 60ХЗ, 1 фаза яки көйләнгән | ||
| Көч | 0002000W | ||
| Asureлчәү (мм) | 1200 * 1200 * 1900 мм | ||
| Авырлык (КГ) | 1200Кг | ||
Искәрмә: 30 минут җылытканнан соң даими температура (25 ± 0,5 ℃)
