Micropore lézerperforáló gép félvezetőhöz

A minimális feldolgozási mikropórusátmérő 5 μm, a teljes feldolgozási pontosság ± 4 μm, a helyi jellemzők pontossága kisebb, mint 3 μm, és a feldolgozási szélesség 300 * 300 mm..

Főleg: mikroelektronikai eszközök gyártása, nyomtatási sablon előkészítése, biochip előkészítése, precíziós formaformázás, műszeres precíziós alkatrészgyártás

1. Nagy teljesítményű és nagy stabilitású UV lézer használata az elgázosító anyag közvetlen eltávolítására, μm szintű feldolgozónyílással és μm szintű hőhatászónával;

2. A nyaláb eltérítésének nagy sebességű és nagy pontosságú szabályozása importált precíziós galvanométerekkel a nagy sebességű kis formátumú precíziós mikrolyuk-feldolgozás elérése érdekében;

3. A nagy sebességű és nagy pontosságú nagy formátumú mikrolyuk feldolgozás a mikron szintű nagy sebességű lineáris motor platform fordításával valósul meg;

4. A Z-tengely elektromosan állítható, hogy alkalmazkodjon a különböző vastagságú anyagokhoz, és megfeleljen a speciális kúpos furatfeldolgozási követelményeknek;

5. A tartománytengelyű szuperfelbontású ipari kamerát a galvanométer teljes képkockás hibajavítására, az ultra-nagy pontosságú fókuszálásra és az online mérésre használják a rendszer hosszú távú stabilitásának és pontosságának biztosítása érdekében;

6. A rendszer márvány munkalapokat alkalmaz a rendszer általános stabilitásának javítása érdekében, és az összes mechanikai alkatrészt gondosan kiválasztották a hosszú távú pontosság biztosítása érdekében;

7. A minimális feldolgozási mikropórusátmérő 5 μm, a teljes feldolgozási pontosság ± 4 μm, a helyi jellemző pontossága kisebb, mint 3 μm, és a feldolgozási szélesség 300 * 300 mm;

8. Fémek, kerámiák, szilícium lapkák, üveg, szerves anyagok és egyéb anyagok precíziós mikromegmunkálására használják, például mikrolyuk megmunkálására és precíziós vágásra.

Az EDM mikrolyukfeldolgozáshoz, mechanikus fúráshoz, kémiai korrózióhoz, mechanikus lyukasztáshoz stb. képest a lézeres precíziós mikrolyuk megmunkálásnak a következő előnyei vannak:

Nagy sebesség (akár 4000 lyuk másodpercenként)

Nagy pontosság (<3 μm)

Nincs anyagi korlátozás (fémek, kerámiák, szilícium ostyák, szerves anyagok stb.)

Programozható furatminta (minimum 5 μm, specifikus kúpos furat)

Az elosztás testreszabható (feldolgozási szélesség 300 mm * 300 mm), nincs szükség öntőformára és maszkra

Nincs szennyeződés és nincs fogyóeszköz

közvetlen feldolgozás

Megjegyzés: Állandó hőmérséklet (25±0,5 ℃), 30 perces előmelegítés után