ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ପାଇଁ ମାଇକ୍ରୋପୋର ଲେଜର ପର୍ଫୋରେସନ୍ ମେସିନ୍ |

ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ବ Feat ଶିଷ୍ଟ୍ୟ ଚିତ୍ର ପାଇଁ ମାଇକ୍ରୋପୋର ଲେଜର ପର୍ଫୋରେସନ୍ ମେସିନ୍ |

ସଂକ୍ଷିପ୍ତ ବର୍ଣ୍ଣନା:

ପ୍ରୟୋଗ: ଗ୍ଲାସ୍, ଅର୍ଗାନିକ୍ସ, ଧାତୁ, ସେରାମିକ୍ସ ଇତ୍ୟାଦି |

ସର୍ବନିମ୍ନ ଗର୍ତ୍ତର ବ୍ୟାସ: 5μm |

ସଠିକତା: ± 4μm,

ସ୍ଥାନୀୟ ବ feature ଶିଷ୍ଟ୍ୟ ସଠିକତା: <3μm

ଆମକୁ ଇମେଲ୍ ପଠାନ୍ତୁ |

ଉତ୍ପାଦ ବିବରଣୀ

ଉତ୍ପାଦ ଟ୍ୟାଗ୍ସ |

ସର୍ବନିମ୍ନ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ମାଇକ୍ରୋପୋର ବ୍ୟାସ 5μm, ସାମଗ୍ରିକ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ସଠିକତା ± 4μm, ସ୍ଥାନୀୟ ବ feature ଶିଷ୍ଟ୍ୟ ସଠିକତା 3μm ରୁ କମ୍ ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ମୋଟେଇ 300 * 300mm ଅଟେ |।

ମୁଖ୍ୟତ for ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ: ମାଇକ୍ରୋ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଉପକରଣ ଉତ୍ପାଦନ, ମୁଦ୍ରଣ ଟେମ୍ପଲେଟ୍ ପ୍ରସ୍ତୁତି, ବାୟୋଚିପ୍ ପ୍ରସ୍ତୁତି, ସଠିକ୍ ଛାଞ୍ଚ ଗଠନ, ଯନ୍ତ୍ରର ସଠିକତା ଅଂଶ ଉତ୍ପାଦନ |

ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ସ୍ଥିରତା UV ଲେଜର ବ୍ୟବହାର କରି ଗ୍ୟାସିଫିକେସନ୍ ସାମଗ୍ରୀକୁ ସିଧାସଳଖ ଅବ୍ଲିଟ୍ କରିବା ପାଇଁ, μm ସ୍ତରୀୟ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଆପେଚର ଏବଂ μm ସ୍ତରୀୟ ଉତ୍ତାପ ପ୍ରଭାବିତ ଜୋନ୍ ସହିତ;

2. ଉଚ୍ଚ-ଗତିର କ୍ଷୁଦ୍ର-ଫର୍ମାଟ୍ ସଠିକତା ମାଇକ୍ରୋ-ହୋଲ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପାଇଁ ଆମଦାନୀ ହୋଇଥିବା ସଠିକ୍ ଗାଲଭାନୋମିଟର ମାଧ୍ୟମରେ ବିମ୍ ଡିଫ୍ଲେକ୍ସନ୍ ର ଉଚ୍ଚ-ଗତି ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ |

3. ଉଚ୍ଚ-ଗତି ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା ବୃହତ-ଫର୍ମାଟ୍ ମାଇକ୍ରୋ-ହୋଲ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ମାଇକ୍ରୋନ୍ ସ୍ତରର ଉଚ୍ଚ-ଗତିର ର line ଖ୍ୟ ମୋଟର ପ୍ଲାଟଫର୍ମର ଅନୁବାଦ ଦ୍ୱାରା ହୃଦୟଙ୍ଗମ ହୁଏ |

4. ବିଭିନ୍ନ ଘନତାର ସାମଗ୍ରୀ ସହିତ ଖାପ ଖାଇବା ଏବଂ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଟେପର ଗାତ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିବା ପାଇଁ Z-axis ବ r ଦୁତିକ ଭାବରେ ନିୟନ୍ତ୍ରିତ |

5. ରେଞ୍ଜ ଅକ୍ଷ ସୁପର-ରିଜୋଲ୍ୟୁସନ୍ ଇଣ୍ଡଷ୍ଟ୍ରିଆଲ୍ କ୍ୟାମେରା ଗାଲଭାନୋମିଟରର ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଫ୍ରେମ୍ ତ୍ରୁଟି ସଂଶୋଧନ, ଅଲ୍ଟ୍ରା-ହାଇ-ସଠିକତା ଧ୍ୟାନ, ଏବଂ ସିଷ୍ଟମର ଦୀର୍ଘମିଆଦି ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ସଠିକତା ନିଶ୍ଚିତ କରିବାକୁ ଅନଲାଇନ୍ ମାପ ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |

6. ସିଷ୍ଟମର ସାମଗ୍ରିକ ସ୍ଥିରତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିବା ପାଇଁ ସିଷ୍ଟମ ମାର୍ବଲ କାଉଣ୍ଟରଗୁଡ଼ିକୁ ଗ୍ରହଣ କରେ, ଏବଂ ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ସଠିକତା ନିଶ୍ଚିତ କରିବାକୁ ସମସ୍ତ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଉପାଦାନଗୁଡିକ ଯତ୍ନର ସହିତ ମନୋନୀତ ହୁଏ |

7. ସର୍ବନିମ୍ନ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ମାଇକ୍ରୋପୋରର ବ୍ୟାସ 5μm, ସାମଗ୍ରିକ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ସଠିକତା ± 4μm, ସ୍ଥାନୀୟ ବ feature ଶିଷ୍ଟ୍ୟ ସଠିକତା 3μm ରୁ କମ୍, ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ମୋଟେଇ 300 * 300mm;

8. ଏହା ଧାତୁ, ସିରାମିକ୍ସ, ସିଲିକନ୍ ୱାଫର୍, ଗ୍ଲାସ୍, ଅର୍ଗାନିକ୍ସ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀର ସଠିକ୍ ମାଇକ୍ରୋମାଚିଂ ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଯେପରିକି ମାଇକ୍ରୋ-ହୋଲ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଏବଂ ସଠିକତା କାଟିବା |

EDM ମାଇକ୍ରୋ-ହୋଲ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ, ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଡ୍ରିଲିଂ, ରାସାୟନିକ କ୍ଷୟ, ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପିଞ୍ଚ ଇତ୍ୟାଦି ସହିତ ତୁଳନା କଲେ ଲେଜର ସଠିକତା ମାଇକ୍ରୋ-ହୋଲ୍ ଯନ୍ତ୍ରର ନିମ୍ନଲିଖିତ ସୁବିଧା ଅଛି:

ଉଚ୍ଚ ଗତି (ପ୍ରତି ସେକେଣ୍ଡରେ 4000 ଗର୍ତ୍ତ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ)

ଉଚ୍ଚ ସଠିକତା (<3μm)

କ material ଣସି ସାମଗ୍ରୀକ ପ୍ରତିବନ୍ଧକ (ଧାତୁ, ସେରାମିକ୍ସ, ସିଲିକନ୍ ୱାଫର୍, ଅର୍ଗାନିକ୍ସ ଇତ୍ୟାଦି) |

ପ୍ରୋଗ୍ରାମେବଲ୍ ହୋଲ୍ pattern ା pattern ୍ଚା (ସର୍ବନିମ୍ନ 5μm, ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଟେପର ହୋଲ୍)

ବଣ୍ଟନ କଷ୍ଟୋମାଇଜ୍ ହୋଇପାରିବ (ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ମୋଟେଇ 300 ମିମି * 300 ମିମି), କ m ଣସି ଛାଞ୍ଚ ଏବଂ ମାସ୍କ ଆବଶ୍ୟକ ନାହିଁ |

କଣସି ପ୍ରଦୂଷଣ ନାହିଁ ଏବଂ ଉପଯୋଗୀ ସାମଗ୍ରୀ ନାହିଁ |

ପ୍ରତ୍ୟକ୍ଷ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ |

ଆଇଟମ୍	ପାରାମିଟର	FM-UVM3A \|	FM-UVM3B \|
ଲେଜର	ତରଙ୍ଗ	355nm
	ଶକ୍ତି	＞ 3W @ 40kHz （3-40W ଇଚ୍ଛାଧୀନ）
	ମଡ୍ୟୁଲେଟିଂ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି \|	1 ~ 200kHz
	ନାଡିର ମୋଟେଇ \|	15ns @ 40kHz
	ବିମ୍ ଗୁଣ \|	＜ 1.2
ଗାଲଭୋ \|	ସ୍କାନ୍ କ୍ଷେତ୍ର \|	＜ 50 * 50 ମିମି	＜ 15 * 15 ମିମି \|
	ପୁନରାବୃତ୍ତି ସଠିକତା \|	＜ 1um
	ଅବସ୍ଥାନର ସଠିକତା \|	≤ ± 3um
XY ଟେବୁଲ୍ \|	ଭ୍ରମଣ \|	300 * 300mm （600 * 600mm ଇଚ୍ଛାଧୀନ）
	ପୋଜିସନ୍ ରିଜୋଲ୍ୟୁସନ୍	0.1um
	ପୁନରାବୃତ୍ତି ସଠିକତା \|	≤ ± 1um
	ଅବସ୍ଥାନର ସଠିକତା \|	≤ ± 3um
	ତ୍ୱରଣ	≤1G
	ଗତି	≤200mm / s
Z ଅକ୍ଷ	ଭ୍ରମଣ \|	150 ମିମି
	ପୁନରାବୃତ୍ତି ସଠିକତା \|	≤ ± 3um
	ଅବସ୍ଥାନର ସଠିକତା \|	≤ ± 5um
ସିସିଡି ମନିଟରିଂ ପୋଜିସନ୍ \|	କ୍ୟାମେରା \|	ପାଞ୍ଚ ମେଗାପିକ୍ସେଲ \|
	ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ବଡୀକରଣ \|	10X
ଅଞ୍ଚଳ ବିଭାଜନ \|	ସଠିକତା	± 3μm
ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ	ସର୍ବନିମ୍ନ ସ୍ଥାନ	8um	5um
	ହୋଲ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ସଠିକତା \|	± 5um
	ପୁନରାବୃତ୍ତି ସଠିକତା \|	≤ ± 1um
	ପ୍ରୋସେସ୍ ପାଇଁ ଉପଲବ୍ଧ ସାମଗ୍ରୀ \|	ଗ୍ଲାସ୍, ଅର୍ଗାନିକ୍ସ, ଧାତୁ, ସେରାମିକ୍ସ ଇତ୍ୟାଦି \|
GGGGA ଆବେଦନ \|	ପାଇପ୍ ବୋତଲ \|	ok	ଭଲ
	ବୋତଲ	ok	ଭଲ
	ପ୍ଲାଷ୍ଟିକ୍ ବୋତଲ \|	ଭଲ ନୁହେଁ	ok
	କୋମଳ ବ୍ୟାଗ \|	ଉପଲବ୍ଧ ନାହିଁ \|	ok
କୁଲାଣ୍ଟ ସିଷ୍ଟମ୍ \|	ୱାଟର କୁଲାଣ୍ଟ (1500W କୁଲିଂ କ୍ଷମତା)
ଶକ୍ତି ଯୋଗାଣ	220V, 50 ~ 60HZ, 1 ପର୍ଯ୍ୟାୟ କିମ୍ବା କଷ୍ଟମାଇଜ୍ \|
ଶକ୍ତି	≤2000W
ମାପ (mm)	1200 * 1200 * 1900 ମିମି \|
ଓଜନ (KG)	1200 କେଜି