Máy đục lỗ Laser Micropore cho chất bán dẫn

Đường kính micropore xử lý tối thiểu là 5μm, độ chính xác xử lý tổng thể là ± 4μm, độ chính xác tính năng cục bộ nhỏ hơn 3μm và chiều rộng xử lý là 300 * 300mm..

Chủ yếu được sử dụng cho: sản xuất thiết bị vi điện tử, chuẩn bị mẫu in, chuẩn bị chip sinh học, tạo khuôn chính xác, sản xuất các bộ phận chính xác của thiết bị đo đạc

1. Sử dụng tia UV công suất cao và độ ổn định cao để mài mòn trực tiếp vật liệu khí hóa, với khẩu độ xử lý cấp độ μm và vùng ảnh hưởng nhiệt ở cấp độ μm;

2. Kiểm soát độ lệch chùm tia tốc độ cao và độ chính xác cao thông qua điện kế chính xác nhập khẩu để đạt được quá trình xử lý lỗ vi mô chính xác định dạng nhỏ tốc độ cao;

3. Xử lý lỗ vi mô định dạng lớn tốc độ cao và độ chính xác cao được thực hiện bằng cách dịch nền tảng động cơ tuyến tính tốc độ cao cấp micron;

4. Trục Z được điều chỉnh bằng điện để thích ứng với các vật liệu có độ dày khác nhau và đáp ứng các yêu cầu xử lý lỗ côn cụ thể;

5. Camera công nghiệp siêu phân giải trục phạm vi được sử dụng để sửa lỗi toàn khung hình của điện kế, lấy nét có độ chính xác cực cao và đo lường trực tuyến để đảm bảo độ ổn định và chính xác lâu dài của hệ thống;

6. Hệ thống sử dụng mặt bàn bằng đá cẩm thạch để cải thiện độ ổn định tổng thể của hệ thống và tất cả các bộ phận cơ khí đều được lựa chọn cẩn thận để đảm bảo độ chính xác lâu dài;

7. Đường kính micropore xử lý tối thiểu là 5μm, độ chính xác xử lý tổng thể là ± 4μm, độ chính xác tính năng cục bộ nhỏ hơn 3μm và chiều rộng xử lý là 300 * 300mm;

8. Nó được sử dụng để gia công vi mô chính xác kim loại, gốm sứ, tấm silicon, thủy tinh, chất hữu cơ và các vật liệu khác, chẳng hạn như xử lý lỗ vi mô và cắt chính xác.

So với xử lý lỗ vi mô EDM, khoan cơ học, ăn mòn hóa học, đục lỗ cơ học, v.v., gia công lỗ vi mô chính xác bằng laser có những ưu điểm sau:

Tốc độ cao (lên tới 4000 lỗ mỗi giây)

Độ chính xác cao (<3μm)

Không có hạn chế về vật liệu (kim loại, gốm sứ, tấm silicon, chất hữu cơ, v.v.)

Mẫu lỗ có thể lập trình (tối thiểu 5μm, lỗ côn cụ thể)

Phân phối có thể được tùy chỉnh (chiều rộng xử lý 300mm * 300mm), không cần khuôn và mặt nạ

Không gây ô nhiễm và không có vật tư tiêu hao

xử lý trực tiếp

Lưu ý: Nhiệt độ không đổi (25±0,5oC), thu được sau khi làm nóng trước trong 30 phút