ಅರೆವಾಹಕಕ್ಕಾಗಿ ಮೈಕ್ರೋಪೋರ್ ಲೇಸರ್ ರಂಧ್ರ ಯಂತ್ರ
ಕನಿಷ್ಠ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಮೈಕ್ರೋಪೋರ್ ವ್ಯಾಸವು 5μm ಆಗಿದೆ, ಒಟ್ಟಾರೆ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ನಿಖರತೆ ± 4μm ಆಗಿದೆ, ಸ್ಥಳೀಯ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯದ ನಿಖರತೆಯು 3μm ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆಯಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ಅಗಲವು 300*300mm ಆಗಿದೆ..
ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ: ಮೈಕ್ರೋಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಸಾಧನ ತಯಾರಿಕೆ, ಮುದ್ರಣ ಟೆಂಪ್ಲೇಟ್ ತಯಾರಿಕೆ, ಬಯೋಚಿಪ್ ತಯಾರಿಕೆ, ನಿಖರವಾದ ಅಚ್ಚು ರಚನೆ, ಸಲಕರಣೆ ನಿಖರ ಭಾಗಗಳ ತಯಾರಿಕೆ
1. μm-ಮಟ್ಟದ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ದ್ಯುತಿರಂಧ್ರ ಮತ್ತು μm-ಮಟ್ಟದ ಶಾಖ-ಬಾಧಿತ ವಲಯದೊಂದಿಗೆ ನೇರವಾಗಿ ಅನಿಲೀಕರಣದ ವಸ್ತುವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಹೆಚ್ಚಿನ-ಶಕ್ತಿ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ-ಸ್ಥಿರತೆಯ UV ಲೇಸರ್ ಅನ್ನು ಬಳಸುವುದು;
2. ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗದ ಸಣ್ಣ-ಸ್ವರೂಪದ ನಿಖರ ಮೈಕ್ರೋ-ಹೋಲ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಆಮದು ಮಾಡಿದ ನಿಖರವಾದ ಗ್ಯಾಲ್ವನೋಮೀಟರ್‌ಗಳ ಮೂಲಕ ಕಿರಣದ ವಿಚಲನದ ಹೆಚ್ಚಿನ-ವೇಗದ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ-ನಿಖರವಾದ ನಿಯಂತ್ರಣ;
3. ಹೈ-ಸ್ಪೀಡ್ ಮತ್ತು ಹೈ-ನಿಖರವಾದ ದೊಡ್ಡ-ಸ್ವರೂಪದ ಮೈಕ್ರೋ-ಹೋಲ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯನ್ನು ಮೈಕ್ರಾನ್-ಲೆವೆಲ್ ಹೈ-ಸ್ಪೀಡ್ ಲೀನಿಯರ್ ಮೋಟಾರ್ ಪ್ಲಾಟ್‌ಫಾರ್ಮ್‌ನ ಅನುವಾದದಿಂದ ಅರಿತುಕೊಳ್ಳಲಾಗುತ್ತದೆ;
4. Z- ಅಕ್ಷವು ವಿವಿಧ ದಪ್ಪಗಳ ವಸ್ತುಗಳಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳಲು ಮತ್ತು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಟ್ಯಾಪರ್ ಹೋಲ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ವಿದ್ಯುತ್ ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯಾಗಿದೆ;
5. ರೇಂಜ್ ಆಕ್ಸಿಸ್ ಸೂಪರ್-ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ ಇಂಡಸ್ಟ್ರಿಯಲ್ ಕ್ಯಾಮೆರಾವನ್ನು ಗ್ಯಾಲ್ವನೋಮೀಟರ್‌ನ ಪೂರ್ಣ-ಫ್ರೇಮ್ ದೋಷ ತಿದ್ದುಪಡಿಗಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ-ಪ್ರಿಸಿಶನ್ ಫೋಕಸಿಂಗ್, ಮತ್ತು ಸಿಸ್ಟಮ್ನ ದೀರ್ಘಾವಧಿಯ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಆನ್‌ಲೈನ್ ಮಾಪನ;
6. ಸಿಸ್ಟಮ್ನ ಒಟ್ಟಾರೆ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು ಸಿಸ್ಟಮ್ ಮಾರ್ಬಲ್ ಕೌಂಟರ್ಟಾಪ್ಗಳನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ದೀರ್ಘಾವಧಿಯ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಎಲ್ಲಾ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಘಟಕಗಳನ್ನು ಎಚ್ಚರಿಕೆಯಿಂದ ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ;
7. ಕನಿಷ್ಠ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಮೈಕ್ರೋಪೋರ್ ವ್ಯಾಸವು 5μm ಆಗಿದೆ, ಒಟ್ಟಾರೆ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ನಿಖರತೆ ± 4μm ಆಗಿದೆ, ಸ್ಥಳೀಯ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯದ ನಿಖರತೆಯು 3μm ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆಯಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ಅಗಲವು 300*300mm ಆಗಿದೆ;
8. ಲೋಹಗಳು, ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಬಿಲ್ಲೆಗಳು, ಗಾಜು, ಸಾವಯವ ಮತ್ತು ಸೂಕ್ಷ್ಮ ರಂಧ್ರ ಸಂಸ್ಕರಣೆ ಮತ್ತು ನಿಖರವಾದ ಕತ್ತರಿಸುವಿಕೆಯಂತಹ ಇತರ ವಸ್ತುಗಳ ನಿಖರವಾದ ಮೈಕ್ರೊಮ್ಯಾಚಿಂಗ್ಗಾಗಿ ಇದನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
EDM ಮೈಕ್ರೋ-ಹೋಲ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆ, ಯಾಂತ್ರಿಕ ಕೊರೆಯುವಿಕೆ, ರಾಸಾಯನಿಕ ತುಕ್ಕು, ಯಾಂತ್ರಿಕ ಪಂಚಿಂಗ್, ಇತ್ಯಾದಿಗಳೊಂದಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ, ಲೇಸರ್ ನಿಖರವಾದ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ರಂಧ್ರ ಯಂತ್ರವು ಈ ಕೆಳಗಿನ ಪ್ರಯೋಜನಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ:
ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗ (ಸೆಕೆಂಡಿಗೆ 4000 ರಂಧ್ರಗಳವರೆಗೆ)
ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆ (<3μm)
ಯಾವುದೇ ವಸ್ತು ನಿರ್ಬಂಧಗಳಿಲ್ಲ (ಲೋಹಗಳು, ಪಿಂಗಾಣಿಗಳು, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಬಿಲ್ಲೆಗಳು, ಜೀವಿಗಳು, ಇತ್ಯಾದಿ)
ಪ್ರೋಗ್ರಾಮೆಬಲ್ ರಂಧ್ರ ಮಾದರಿ (ಕನಿಷ್ಠ 5μm, ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಟೇಪರ್ ರಂಧ್ರ)
ವಿತರಣೆಯನ್ನು ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಬಹುದು (ಸಂಸ್ಕರಣೆ ಅಗಲ 300mm*300mm), ಯಾವುದೇ ಅಚ್ಚು ಮತ್ತು ಮುಖವಾಡ ಅಗತ್ಯವಿಲ್ಲ
ಯಾವುದೇ ಮಾಲಿನ್ಯ ಮತ್ತು ಉಪಭೋಗ್ಯವಿಲ್ಲ
ನೇರ ಸಂಸ್ಕರಣೆ
| ವಸ್ತುಗಳು | ಪ್ಯಾರಾಮೀಟರ್ | FM-UVM3A | FM-UVM3B |
| ಲೇಸರ್ | ಅಲೆ | 355nm | |
| ಶಕ್ತಿ | ＞3W@40kHz (3-40W ಐಚ್ಛಿಕ) | ||
| ಮಾಡ್ಯುಲೇಟಿಂಗ್ ಆವರ್ತನ | 1~200kHz | ||
| ನಾಡಿ ಅಗಲ | 15ns@40kHz | ||
| ಕಿರಣದ ಗುಣಮಟ್ಟ | 1.2 | ||
| ಗಾಲ್ವೋ | ಪ್ರದೇಶವನ್ನು ಸ್ಕ್ಯಾನ್ ಮಾಡಿ | 50*50ಮಿಮೀ | ＜15*15ಮಿಮೀ |
| ಪುನರಾವರ್ತನೆಯ ನಿಖರತೆ | 1um | ||
| ಸ್ಥಾನಿಕ ನಿಖರತೆ | ≤±3um | ||
| XY ಕೋಷ್ಟಕಗಳು | ಪ್ರಯಾಣ | 300*300mm (600*600mm ಐಚ್ಛಿಕ) | |
| ಸ್ಥಾನೀಕರಣದ ನಿರ್ಣಯ | 0.1um | ||
| ಪುನರಾವರ್ತನೆಯ ನಿಖರತೆ | ≤± 1um | ||
| ಸ್ಥಾನಿಕ ನಿಖರತೆ | ≤±3um | ||
| ವೇಗವರ್ಧನೆ | ≤1G | ||
| ವೇಗ | ≤200mm/s | ||
| Z ಅಕ್ಷ | ಪ್ರಯಾಣ | 150ಮಿ.ಮೀ | |
| ಪುನರಾವರ್ತನೆಯ ನಿಖರತೆ | ≤±3um | ||
| ಸ್ಥಾನಿಕ ನಿಖರತೆ | ≤±5um | ||
| CCD ಮಾನಿಟರಿಂಗ್ ಸ್ಥಾನೀಕರಣ | ಕ್ಯಾಮೆರಾ | ಐದು-ಮೆಗಾಪಿಕ್ಸೆಲ್ | |
| ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ವರ್ಧನೆ | 10X | ||
| ಪ್ರದೇಶ ವಿಭಜನೆ | ನಿಖರತೆ | ±3μm | |
| ಸಂಸ್ಕರಣೆ | ಕನಿಷ್ಠ ಸ್ಥಾನ | 8um | 5um |
| ರಂಧ್ರ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ನಿಖರತೆ | ±5um | ||
| ಪುನರಾವರ್ತನೆಯ ನಿಖರತೆ | ≤± 1um | ||
| ಸಂಸ್ಕರಣೆಗಾಗಿ ಲಭ್ಯವಿರುವ ವಸ್ತುಗಳು | ಗಾಜು, ಜೀವಿಗಳು, ಲೋಹಗಳು, ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್, ಇತ್ಯಾದಿ. | ||
| GGGGA ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ | ಪೈಪ್ ಬಾಟಲ್ | ok | ಒಳ್ಳೆಯದು |
| ಡೈ ಬಾಟಲ್ | ok | ಒಳ್ಳೆಯದು | |
| ಪ್ಲಾಸ್ಟಿಕ್ ಬಾಟಲ್ | ಚೆನ್ನಾಗಿಲ್ಲ | ok | |
| ಮೃದು ಚೀಲಗಳು | ಲಭ್ಯವಿಲ್ಲ | ok | |
| ಶೀತಕ ವ್ಯವಸ್ಥೆ | ನೀರಿನ ಶೀತಕ (1500W ಕೂಲಿಂಗ್ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ) | ||
| ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜು | 220V, 50~60HZ, 1 ಹಂತ ಅಥವಾ ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಲಾಗಿದೆ | ||
| ಶಕ್ತಿ | ≤2000W | ||
| ಅಳತೆ(ಮಿಮೀ) | 1200*1200*1900ಮಿಮೀ | ||
| ತೂಕ (ಕೆಜಿ) | 1200ಕೆ.ಜಿ | ||
ಗಮನಿಸಿ: ಸ್ಥಿರ ತಾಪಮಾನ (25±0.5℃), 30 ನಿಮಿಷಗಳ ಕಾಲ ಪೂರ್ವಭಾವಿಯಾಗಿ ಕಾಯಿಸಿದ ನಂತರ ಪಡೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ
