Хагас дамжуулагчийн бичил нүхний лазер цоорох машин
Боловсруулах бичил нүхний хамгийн бага диаметр нь 5μm, нийт боловсруулалтын нарийвчлал нь ±4μm, орон нутгийн онцлогийн нарийвчлал 3μm-ээс бага, боловсруулах өргөн нь 300*300мм байна..
Микроэлектрон төхөөрөмж үйлдвэрлэх, хэвлэх загвар бэлтгэх, биочип бэлтгэх, нарийн хэв гаргах, багаж хэрэгслийн нарийн эд анги үйлдвэрлэхэд голчлон ашигладаг.
1. Өндөр хүчин чадалтай, тогтвортой хэт ягаан туяаны лазерыг ашиглан хийжүүлэх материалыг шууд буулгах, мкм түвшний боловсруулалтын нүхтэй, мкм түвшний халуунд өртөх бүстэй;
2. Импортын нарийн гальванометрээр дам нурууны хазайлтыг өндөр хурдтай, өндөр нарийвчлалтай хянах, өндөр хурдтай жижиг форматтай нарийн бичил нүх боловсруулах;
3. Өндөр хурдтай, өндөр нарийвчлалтай том хэлбэрийн бичил нүхний боловсруулалт нь микрон түвшний өндөр хурдны шугаман моторын платформыг орчуулснаар хэрэгждэг;
4. Z-тэнхлэг нь янз бүрийн зузаантай материалд дасан зохицож, шовгор нүхний боловсруулалтын тодорхой шаардлагыг хангахын тулд цахилгаан тохируулгатай;
5. Хүрээний тэнхлэгийн хэт нарийвчлалтай үйлдвэрлэлийн камер нь гальванометрийн алдааг бүрэн фрэймээр засах, хэт өндөр нарийвчлалтай фокус тогтоох, системийн урт хугацааны тогтвортой байдал, нарийвчлалыг хангахын тулд онлайн хэмжилт хийхэд ашиглагддаг;
6. Систем нь системийн ерөнхий тогтвортой байдлыг сайжруулахын тулд гантиг тавцанг ашигладаг бөгөөд урт хугацааны нарийвчлалыг хангахын тулд бүх механик бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг сайтар сонгосон;
7. Боловсруулах бичил нүхний хамгийн бага диаметр нь 5μm, нийт боловсруулалтын нарийвчлал нь ±4μm, орон нутгийн онцлогийн нарийвчлал нь 3μm-ээс бага, боловсруулах өргөн нь 300*300мм;
8. Металл, керамик, цахиур хавтан, шил, органик болон бусад материалыг нарийн бичил боловсруулалт хийх, бичил нүх боловсруулах, нарийн зүсэх зэрэгт ашигладаг.
EDM бичил цооногийн боловсруулалт, механик өрөмдлөг, химийн зэврэлт, механик цоолтуур гэх мэттэй харьцуулахад лазерын нарийвчлалтай бичил нүхний боловсруулалт нь дараахь давуу талуудтай.
Өндөр хурд (секундэд 4000 нүх хүртэл)
Өндөр нарийвчлал (<3μm)
Материаллаг хязгаарлалт байхгүй (металл, керамик, цахиур хавтан, органик гэх мэт)
Програмчлагдах нүхний загвар (хамгийн багадаа 5μм, тусгай шовгор нүх)
Түгээлтийг өөрчлөх боломжтой (боловсруулах өргөн 300мм*300мм), хөгц, маск шаардлагагүй
Ямар ч бохирдол, хэрэглээний материал байхгүй
шууд боловсруулах
| Эд зүйлс | Параметр | FM-UVM3A | FM-UVM3B |
| Лазер | давалгаа, долгио | 355нм | |
| Хүч | ＞3W@40kHz （3-40W нэмэлт） | ||
| модуляцлах давтамж | 1 ~ 200 кГц | ||
| Импульсийн өргөн | 15ns@40kHz | ||
| цацрагийн чанар | ＜1.2 | ||
| Галво | Скан хийх талбай | ＜50*50мм | ＜15*15мм |
| Дахин давтагдах нарийвчлал | ＜1ум | ||
| Байршлын нарийвчлал | ≤±3um | ||
| XY хүснэгтүүд | Аялал | 300*300мм (заавал биш 600*600мм) | |
| Байршлын нарийвчлал | 0.1 мм | ||
| Дахин давтагдах нарийвчлал | ≤±1um | ||
| Байршлын нарийвчлал | ≤±3um | ||
| Хурдатгал | ≤1G | ||
| Хурд | ≤200мм/с | ||
| Z тэнхлэг | Аялал | 150мм | |
| Дахин давтагдах нарийвчлал | ≤±3um | ||
| Байршлын нарийвчлал | ≤±5um | ||
| CCD хяналтын байршил | Камер | таван мегапиксел | |
| Оптик томруулалт | 10X | ||
| бүсийг залгах | нарийвчлал | ±3μм | |
| Боловсруулж байна | Хамгийн бага цэг | 8ум | 5ум |
| Нүхний боловсруулалтын нарийвчлал | ±5ум | ||
| Дахин давтагдах нарийвчлал | ≤±1um | ||
| Боловсруулах боломжтой материалууд | Шил, органик, металл, керамик гэх мэт. | ||
| GGGGХэрэглээ | Хоолойн шил | ok | сайн |
| үхсэн лонх | ok | сайн | |
| Хуванцар сав | сайн биш | ok | |
| Зөөлөн уутнууд | Боломжгүй | ok | |
| Хөргөлтийн систем | Усны хөргөлтийн шингэн (1500Вт хөргөх хүчин чадалтай) | ||
| Цахилгаан хангамж | 220V, 50~60HZ, 1 фаз эсвэл тохируулсан | ||
| Хүч | ≤2000Вт | ||
| Хэмжих (мм) | 1200*1200*1900мм | ||
| Жин (KG) | 1200кг | ||
Тайлбар: 30 минутын турш урьдчилан халаасны дараа олж авсан тогтмол температур (25±0.5℃)
