അർദ്ധചാലകത്തിനുള്ള മൈക്രോപോർ ലേസർ പെർഫോറേഷൻ മെഷീൻ

ഏറ്റവും കുറഞ്ഞ പ്രോസസ്സിംഗ് മൈക്രോപോർ വ്യാസം 5μm ആണ്, മൊത്തത്തിലുള്ള പ്രോസസ്സിംഗ് കൃത്യത ± 4μm ആണ്, പ്രാദേശിക സവിശേഷത കൃത്യത 3μm-ൽ താഴെയാണ്, പ്രോസസ്സിംഗ് വീതി 300*300mm ആണ്..

പ്രധാനമായും ഉപയോഗിക്കുന്നത്: മൈക്രോ ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണ നിർമ്മാണം, പ്രിന്റിംഗ് ടെംപ്ലേറ്റ് തയ്യാറാക്കൽ, ബയോചിപ്പ് തയ്യാറാക്കൽ, കൃത്യമായ പൂപ്പൽ രൂപീകരണം, ഇൻസ്ട്രുമെന്റേഷൻ പ്രിസിഷൻ പാർട്സ് നിർമ്മാണം

1. μm-ലെവൽ പ്രോസസ്സിംഗ് അപ്പേർച്ചറും μm-ലെവൽ ചൂട്-ബാധിത മേഖലയും ഉപയോഗിച്ച് ഗ്യാസിഫിക്കേഷൻ മെറ്റീരിയൽ നേരിട്ട് അബ്ലേറ്റ് ചെയ്യാൻ ഉയർന്ന-പവർ, ഉയർന്ന സ്ഥിരതയുള്ള UV ലേസർ ഉപയോഗിക്കുന്നു;

2. ഹൈ-സ്പീഡ് സ്മോൾ ഫോർമാറ്റ് പ്രിസിഷൻ മൈക്രോ-ഹോൾ പ്രോസസ്സിംഗ് നേടുന്നതിന് ഇറക്കുമതി ചെയ്ത പ്രിസിഷൻ ഗാൽവനോമീറ്ററുകളിലൂടെ ബീം വ്യതിചലനത്തിന്റെ ഹൈ-സ്പീഡ് ഹൈ-പ്രിസിഷൻ നിയന്ത്രണം;

3. മൈക്രോൺ-ലെവൽ ഹൈ-സ്പീഡ് ലീനിയർ മോട്ടോർ പ്ലാറ്റ്‌ഫോമിന്റെ വിവർത്തനം വഴി ഹൈ-സ്പീഡ്, ഹൈ-പ്രിസിഷൻ വലിയ ഫോർമാറ്റ് മൈക്രോ-ഹോൾ പ്രോസസ്സിംഗ് സാക്ഷാത്കരിക്കപ്പെടുന്നു;

4. വ്യത്യസ്ത കട്ടിയുള്ള വസ്തുക്കളുമായി പൊരുത്തപ്പെടുന്നതിനും നിർദ്ദിഷ്ട ടാപ്പർ ഹോൾ പ്രോസസ്സിംഗ് ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നതിനും Z- ആക്സിസ് വൈദ്യുതപരമായി ക്രമീകരിക്കാവുന്നതാണ്;

5. സിസ്റ്റത്തിന്റെ ദീർഘകാല സ്ഥിരതയും കൃത്യതയും ഉറപ്പാക്കാൻ ഗാൽവനോമീറ്ററിന്റെ പൂർണ്ണ-ഫ്രെയിം പിശക് തിരുത്തൽ, അൾട്രാ-ഹൈ-പ്രിസിഷൻ ഫോക്കസിംഗ്, ഓൺലൈൻ മെഷർമെന്റ് എന്നിവയ്‌ക്കായി ശ്രേണി ആക്‌സിസ് സൂപ്പർ-റെസല്യൂഷൻ വ്യാവസായിക ക്യാമറ ഉപയോഗിക്കുന്നു;

6. സിസ്റ്റത്തിന്റെ മൊത്തത്തിലുള്ള സ്ഥിരത മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനായി സിസ്റ്റം മാർബിൾ കൗണ്ടർടോപ്പുകൾ സ്വീകരിക്കുന്നു, കൂടാതെ ദീർഘകാല കൃത്യത ഉറപ്പാക്കാൻ എല്ലാ മെക്കാനിക്കൽ ഘടകങ്ങളും ശ്രദ്ധാപൂർവ്വം തിരഞ്ഞെടുക്കുന്നു;

7. മിനിമം പ്രോസസ്സിംഗ് മൈക്രോപോർ വ്യാസം 5μm ആണ്, മൊത്തത്തിലുള്ള പ്രോസസ്സിംഗ് കൃത്യത ± 4μm ആണ്, പ്രാദേശിക സവിശേഷത കൃത്യത 3μm-ൽ താഴെയാണ്, പ്രോസസ്സിംഗ് വീതി 300*300mm ആണ്;

8. ലോഹങ്ങൾ, സെറാമിക്‌സ്, സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ, ഗ്ലാസ്, ഓർഗാനിക്‌സ്, മൈക്രോ-ഹോൾ പ്രോസസ്സിംഗ്, പ്രിസിഷൻ കട്ടിംഗ് തുടങ്ങിയ മറ്റ് സാമഗ്രികൾ എന്നിവയുടെ സൂക്ഷ്മ മൈക്രോമാച്ചിംഗിനായി ഇത് ഉപയോഗിക്കുന്നു.

EDM മൈക്രോ-ഹോൾ പ്രോസസ്സിംഗ്, മെക്കാനിക്കൽ ഡ്രില്ലിംഗ്, കെമിക്കൽ കോറോഷൻ, മെക്കാനിക്കൽ പഞ്ചിംഗ് മുതലായവയുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, ലേസർ പ്രിസിഷൻ മൈക്രോ-ഹോൾ മെഷീനിംഗിന് ഇനിപ്പറയുന്ന ഗുണങ്ങളുണ്ട്:

ഉയർന്ന വേഗത (സെക്കൻഡിൽ 4000 ദ്വാരങ്ങൾ വരെ)

ഉയർന്ന കൃത്യത (<3μm)

മെറ്റീരിയൽ നിയന്ത്രണങ്ങളൊന്നുമില്ല (ലോഹങ്ങൾ, സെറാമിക്‌സ്, സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ, ഓർഗാനിക്‌സ് മുതലായവ)

പ്രോഗ്രാം ചെയ്യാവുന്ന ദ്വാര പാറ്റേൺ (കുറഞ്ഞത് 5μm, നിർദ്ദിഷ്ട ടാപ്പർ ഹോൾ)

വിതരണം ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കാം (പ്രോസസ്സിംഗ് വീതി 300mm*300mm), പൂപ്പലും മാസ്കും ആവശ്യമില്ല

മലിനീകരണവും ഉപഭോഗ വസ്തുക്കളും ഇല്ല

നേരിട്ടുള്ള പ്രോസസ്സിംഗ്

ശ്രദ്ധിക്കുക: സ്ഥിരമായ താപനില (25±0.5℃), 30 മിനിറ്റ് നേരത്തേക്ക് ചൂടാക്കിയ ശേഷം ലഭിക്കുന്നു