Micropore Laser Perforation Machine fyrir hálfleiðara

Lágmarks vinnslumíkrópore þvermál er 5μm, heildarvinnslunákvæmni er ±4μm, staðbundin eiginleiki er minni en 3μm og vinnslubreidd er 300*300mm..

Aðallega notað fyrir: framleiðslu á rafeindabúnaði, undirbúningur sniðmáts fyrir prentun, undirbúningur lífflaga, mótun nákvæmnismóta, framleiðslu á nákvæmum hlutum í tækjabúnaði

1. Notaðu kraftmikinn og stöðugan UV leysir til að fjarlægja gasunarefnið beint, með vinnsluopi á μm-stigi og μm-stigi hitaáhrifasvæði;

2. Háhraða og hárnákvæmni stjórn á sveigju geisla í gegnum innfluttar nákvæmni galvanometer til að ná háhraða smásniði nákvæmni örholuvinnslu;

3. Háhraða og hárnákvæmni stórsniðs örholuvinnsla er að veruleika með þýðingu á míkron-stigi háhraða línuleg mótor vettvang;

4. Z-ásinn er rafstillanlegur til að laga sig að efnum af mismunandi þykktum og til að uppfylla sérstakar kröfur um taper holuvinnslu;

5. Sviðásinn ofurupplausn iðnaðar myndavél er notuð fyrir full-frame villuleiðréttingu galvanometersins, öfgafullur hárnákvæmni fókus og netmælingar til að tryggja langtíma stöðugleika og nákvæmni kerfisins;

6. Kerfið samþykkir marmara borðplötur til að bæta heildarstöðugleika kerfisins og allir vélrænir íhlutir eru vandlega valdir til að tryggja langtíma nákvæmni;

7. Lágmarks vinnslu örpore þvermál er 5μm, heildar vinnslu nákvæmni er ±4μm, staðbundin eiginleiki nákvæmni er minna en 3μm, og vinnslubreidd er 300 * 300mm;

8. Það er notað til nákvæmrar örvinnslu á málmum, keramik, kísilþráðum, gleri, lífrænum efnum og öðrum efnum, svo sem örholuvinnslu og nákvæmni klippingu.

Í samanburði við EDM örholuvinnslu, vélrænni borun, efnatæringu, vélrænni gata osfrv., hefur leysir nákvæmni örholuvinnsla eftirfarandi kosti:

Mikill hraði (allt að 4000 holur á sekúndu)

Mikil nákvæmni (<3μm)

Engar efnistakmarkanir (málmar, keramik, kísilskúffur, lífræn efni osfrv.)

Forritanlegt gatamynstur (lágmark 5μm, sérstakt mjókkandi gat)

Hægt er að aðlaga dreifingu (vinnslubreidd 300mm * 300mm), engin mold og gríma krafist

Engin mengun og engin rekstrarvörur

bein vinnsla

Athugið: Stöðugt hitastig (25±0,5 ℃), fæst eftir forhitun í 30 mínútur