Stroj za lasersko perforiranje mikropora za poluvodiče

Minimalni promjer mikropora za obradu je 5 μm, ukupna točnost obrade je ±4 μm, točnost lokalnih značajki manja je od 3 μm, a širina obrade je 300*300 mm..

Uglavnom se koristi za: proizvodnju mikroelektroničkih uređaja, pripremu šablona za ispis, pripremu biočipa, precizno oblikovanje kalupa, proizvodnju preciznih dijelova instrumentacije

1. Korištenje UV lasera velike snage i visoke stabilnosti za izravnu ablaciju materijala za rasplinjavanje, s otvorom za obradu na razini μm i zonom utjecaja topline na razini μm;

2. Brza i precizna kontrola otklona snopa putem uvezenih preciznih galvanometra za postizanje brze precizne obrade mikrorupa malog formata;

3. Obrada mikrorupa velikog formata velike brzine i visoke preciznosti ostvaruje se prevođenjem platforme linearnog motora velike brzine na mikronskoj razini;

4. Z-os je električno podesiva kako bi se prilagodila materijalima različitih debljina i zadovoljila specifične zahtjeve obrade konusnih rupa;

5. Industrijska kamera super-razlučivosti osi raspona koristi se za ispravljanje pogrešaka punog kadra galvanometra, ultra-visoko precizno fokusiranje i online mjerenje kako bi se osigurala dugoročna stabilnost i točnost sustava;

6. Sustav koristi mramorne ploče za poboljšanje ukupne stabilnosti sustava, a sve mehaničke komponente pažljivo su odabrane kako bi se osigurala dugoročna točnost;

7. Minimalni promjer mikropora za obradu je 5 μm, ukupna točnost obrade je ±4 μm, točnost lokalne značajke manja je od 3 μm, a širina obrade je 300*300 mm;

8. Koristi se za preciznu mikromašinsku obradu metala, keramike, silikonskih pločica, stakla, organskih i drugih materijala, kao što je obrada mikrorupa i precizno rezanje.

U usporedbi s EDM obradom mikrorupa, mehaničkim bušenjem, kemijskom korozijom, mehaničkim probijanjem itd., laserska precizna obrada mikrorupa ima sljedeće prednosti:

Velika brzina (do 4000 rupa u sekundi)

Visoka preciznost (<3μm)

Bez ograničenja materijala (metali, keramika, silikonske pločice, organski materijali itd.)

Programabilni uzorak rupa (minimalno 5 μm, posebna konusna rupa)

Distribucija se može prilagoditi (širina obrade 300mm*300mm), nisu potrebni kalup i maska

Bez zagađenja i bez potrošnog materijala

izravna obrada

Napomena: Konstantna temperatura (25±0,5℃), dobivena nakon predgrijavanja od 30 minuta