Micropore Laser Perforation Machine ho an'ny semiconductor
Ny kely indrindra fanodinana micropore savaivony dia 5μm, ny ankapobeny fanodinana marina dia ± 4μm, ny eo an-toerana endri-javatra marina dia latsaky ny 3μm, ary ny fanodinana sakany dia 300 * 300mm..
Ampiasaina indrindra ho an'ny: famokarana fitaovana microelectronic, fanomanana ny fanontam-pirinty, fanomanana biochip, fanamboarana bobongolo mazava tsara, famokarana ampahany amin'ny fitaovana
1. Mampiasa laser UV mahery vaika sy maharitra avo lenta mba hanesorana mivantana ny fitaovana entona entona, miaraka amin'ny aperture fanodinana μm ary faritra voan'ny hafanana μm;
2. Fanaraha-maso avo lenta sy avo lenta amin'ny fivilian'ny taratra amin'ny alàlan'ny galvanomètre precision nafarana mba hanatrarana ny fanodinana micro-hole kely amin'ny endrika haingana;
3. Ny fanodinana haingam-pandeha sy avo lenta avo lenta dia tanterahana amin'ny alàlan'ny fandikana ny sehatra maotera haingam-pandeha haingam-pandeha micron;
4. Ny Z-axis dia elektrika azo ampifanarahana amin'ny fitaovana amin'ny hateviny samihafa ary mahafeno ny fepetra takiana amin'ny fanodinana lavaka taper;
5. Ny fakan-tsarimihetsika indostrialy fakan-tsarimihetsika midadasika dia ampiasaina amin'ny fanitsiana ny fahadisoana feno amin'ny galvanometer, ny fifantohana amin'ny mari-pahaizana ambony indrindra, ary ny fandrefesana an-tserasera mba hiantohana ny fahamarinan-toerana maharitra sy ny fahamarinan'ny rafitra;
6. Ny rafitra dia mampiasa countertops marbra mba hanatsarana ny fahamarinan-toerana amin'ny ankapobeny ny rafitra, ary ny singa mekanika rehetra dia voafantina tsara mba hiantohana ny fahamarinan'ny fotoana maharitra;
7. Ny kely indrindra fanodinana micropore savaivony dia 5μm, ny ankapobeny fanodinana marina dia ± 4μm, ny eo an-toerana endri-javatra marina dia latsaky ny 3μm, ary ny fanodinana sakany dia 300 * 300mm;
8. Izy io dia ampiasaina amin'ny micromachining amin'ny metaly, seramika, wafer silisiôma, fitaratra, organika ary fitaovana hafa, toy ny fanodinana micro-hole sy ny fanapahana mazava tsara.
Raha oharina amin'ny EDM micro-lavaka fanodinana, mekanika fandavahana, simika harafesiny, mekanika punching, sns, tamin'ny laser mazava tsara micro-lavaka machining manana tombony manaraka ireto:
Haingam-pandeha ambony (hatramin'ny 4000 lavaka isan-tsegondra)
High precision (<3μm)
Tsy misy famerana ara-materialy (metaly, seramika, wafer silisiôma, organika, sns.)
Lamina lavaka azo atao (5μm farafahakeliny, lavaka taper manokana)
Ny fizarana dia azo amboarina (ny sakan'ny fanodinana 300mm * 300mm), tsy mila lasitra sy saron-tava
Tsy misy loto ary tsy misy zavatra azo ampiasaina
fanodinana mivantana
| IREO SINGA NASIANA | fikirana | FM-UVM3A | FM-UVM3B |
| tamin'ny laser | NIRONGATRA | 355nm | |
| fahefana | >3W@40kHz (3-40W tsy voatery) | ||
| matetika modulating | 1~200kHz | ||
| Pulse sakany | 15ns@40kHz | ||
| kalitao beam | <1.2 | ||
| Galvo | Faritra scan | <50*50mm | <15*15mm |
| Fahamarinana azo averina | <1um | ||
| Fametrahana fahitsiana | ≤±3um | ||
| tabilao XY | Tsangatsangana | 300*300mm (600*600mm tsy voatery) | |
| Famahana ny toerana | 0.1um | ||
| Fahamarinana azo averina | ≤±1um | ||
| Fametrahana fahitsiana | ≤±3um | ||
| haingana | ≤1G | ||
| Haingana | ≤200mm/s | ||
| Z axis | Tsangatsangana | 150mm | |
| Fahamarinana azo averina | ≤±3um | ||
| Fametrahana fahitsiana | ≤±5um | ||
| Fametrahana fanaraha-maso CCD | Camera | dimy-megapixel | |
| Optical magnification | 10X | ||
| faritra splicing | araka ny marina | ±3μm | |
| fanodinana | Toerana kely indrindra | 8um | 5um |
| Fahamarinana fanodinana lavaka | ±5um | ||
| Fahamarinana azo averina | ≤±1um | ||
| Fitaovana azo ampiasaina | Glass, organika, metaly, seramika, sns. | ||
| GGGGAapplication | tavoahangy fantsona | ok | tsara |
| tavoahangy maty | ok | tsara | |
| tavoahangy plastika | tsy tsara | ok | |
| Kitapo malefaka | Tsy misy | ok | |
| Ny rafitra coolant | Rano mangatsiaka (1500W) | ||
| Herin'aratra | 220V, 50 ~ 60HZ, dingana 1 na namboarina | ||
| fahefana | ≤2000W | ||
| Refy (mm) | 1200*1200*1900mm | ||
| Lanja (KG) | 1200Kg | ||
Fanamarihana: Constant mari-pana (25±0.5 ℃), azo rehefa preheating nandritra ny 30 minitra
