Машина за ласерску перфорацију микропора за полупроводнике

Минимални пречник микропора за обраду је 5 μм, укупна тачност обраде је ± 4 μм, тачност локалне карактеристике је мања од 3 μм, а ширина обраде је 300 * 300 мм..

Углавном се користи за: производњу микроелектронских уређаја, припрему шаблона за штампање, припрему биочипа, прецизно обликовање калупа, производњу прецизних делова инструментације

1. Коришћење УВ ласера ​​велике снаге и високе стабилности за директну аблацију материјала за гасификацију, са отвором за обраду на нивоу μм и зоном утицаја топлоте на нивоу μм;

2. Велика брзина и прецизна контрола скретања снопа кроз увезене прецизне галванометре да би се постигла брза прецизна обрада микро рупа малог формата;

3. Велика брзина и прецизна обрада микро рупа великог формата се реализује превођењем платформе линеарног мотора велике брзине на нивоу микрона;

4. З-оса је електрично подесива како би се прилагодила материјалима различите дебљине и задовољила специфичне захтеве обраде конусних рупа;

5. Индустријска камера супер-резолуције осовине домета се користи за корекцију грешке у пуном кадру галванометра, ултра-високу прецизност фокусирања и мерења на мрежи како би се осигурала дугорочна стабилност и тачност система;

6. Систем усваја мермерне плоче за побољшање укупне стабилности система, а све механичке компоненте су пажљиво одабране како би се осигурала дугорочна тачност;

7. Минимални пречник микропора за обраду је 5μм, укупна тачност обраде је ±4μм, тачност локалне карактеристике је мања од 3μм, а ширина обраде је 300*300мм;

8. Користи се за прецизну микромашинску обраду метала, керамике, силицијумских плочица, стакла, органских и других материјала, као што је обрада микро рупа и прецизно сечење.

У поређењу са ЕДМ обрадом микро рупа, механичким бушењем, хемијском корозијом, механичким пробијањем, итд., ласерска прецизна обрада микро рупа има следеће предности:

Велика брзина (до 4000 рупа у секунди)

Висока прецизност (<3μм)

Без ограничења материјала (метали, керамика, силицијумске плочице, органске материје, итд.)

Програмабилни узорак рупа (минимум 5 μм, специфичан конусни отвор)

Дистрибуција се може прилагодити (ширина обраде 300мм*300мм), није потребан калуп и маска

Без загађења и без потрошног материјала

директна обрада

Напомена: Константна температура (25±0,5℃), добијена након претходног загревања од 30 минута