Inneal perforation laser micropore airson semiconductor

Is e an trast-thomhas micropore giollachd as ìsle 5μm, is e an cruinneas giollachd iomlan ± 4μm, tha cruinneas feart ionadail nas lugha na 3μm, agus is e an leud giollachd 300 * 300mm..

Air a chleachdadh sa mhòr-chuid airson: saothrachadh innealan microelectronic, ullachadh teamplaid clò-bhualaidh, ullachadh biochip, cumadh molltair mionaideach, saothrachadh pàirtean mionaideachd ionnstramaid

1. A 'cleachdadh leusair UV àrd-chumhachd agus àrd-sheasmhachd gus an stuth gasification a thoirt air falbh gu dìreach, le fosgladh giollachd ìre μm agus sòn fo bhuaidh teas ìre μm;

2. Smachd àrd-astar agus àrd-chruinneas air sreap beam tro galvanometers mionaideach a chaidh a thoirt a-steach gus giollachd meanbh-tholl mionaideachd cruth beag àrd a choileanadh;

3. Tha giollachd meanbh-tholl cruth mòr àrd-astar agus àrd-chruinneas air a choileanadh le eadar-theangachadh an àrd-ùrlar motair sreathach àrd-ìre micron;

4. Tha an Z-axis comasach air atharrachadh gu dealanach gus atharrachadh gu stuthan de dhiofar thiugh agus gus coinneachadh ri riatanasan sònraichte giollachd tuill taper;

5. Thathas a 'cleachdadh a' chamara gnìomhachais àrd-rèiteachaidh axis raon airson ceartachadh mearachd làn-fhrèam den galvanometer, fòcas ultra-àrd-chruinneas, agus tomhas air-loidhne gus dèanamh cinnteach à seasmhachd agus cruinneas fad-ùine an t-siostaim;

6. Bidh an siostam a’ gabhail ri countertops marmoir gus seasmhachd iomlan an t-siostaim a leasachadh, agus tha na pàirtean meacanaigeach uile air an taghadh gu faiceallach gus dèanamh cinnteach à cruinneas fad-ùine;

7. Is e 5μm an trast-thomhas micropore giollachd as ìsle, is e cruinneas giollachd iomlan ±4μm, tha cruinneas feart ionadail nas lugha na 3μm, agus is e leud giollachd 300 * 300mm;

8. Tha e air a chleachdadh airson micromachining mionaideach de mheatailtean, crèadhadaireachd, sileaconach wafers, glainne, organics agus stuthan eile, leithid meanbh-toll giollachd agus mionaideach gearradh.

An coimeas ri giullachd meanbh-tholl EDM, drileadh meacanaigeach, creimeadh ceimigeach, punching meacanaigeach, msaa, tha na buannachdan a leanas aig innealachadh meanbh-tholl leusair:

Àrd-astar (suas ri 4000 tuill gach diog)

Àrd mionaideachd (<3μm)

Gun bhacadh stuthan (meatailt, ceirmeag, wafers silicon, stuthan organach, msaa)

Pàtran toll prògramaichte (5μm aig a ’char as lugha, toll tapr sònraichte)

Faodar cuairteachadh a ghnàthachadh (leud giullachd 300mm * 300mm), chan eil feum air molltair agus masg

Gun truailleadh agus gun stuthan cleachdaidh

giollachd dìreach

Nota: Teòthachd seasmhach (25 ± 0.5 ℃), air fhaighinn às deidh preheating airson 30 mionaid