Ondarymgeçiriji üçin mikropor lazer perforasiýa enjamy
Gaýtadan işlemegiň mikroporunyň iň pes diametri 5μm, umumy işlemegiň takyklygy ± 4μm, ýerli aýratynlyk takyklygy 3μm-den az, gaýtadan işlemegiň ini 300 * 300mm..
Esasan ulanylýar: mikroelektron enjam öndürmek, çap şablony taýýarlamak, biochip taýýarlamak, takyk galyp emele getirmek, gurallaryň takyk bölekleri öndürmek
1. Gasm derejeli gaýtadan işleýiş duralgasy we μm derejeli ýylylyk täsir edýän zona bilen gazlaşdyryş materialyny gönüden-göni ablasiýa etmek üçin ýokary güýçli we ýokary durnukly UV lazerini ulanmak;
2. importokary tizlikli kiçi formatly takyk mikro deşik gaýtadan işlemek üçin import edilýän takyk galvanometrleriň üsti bilen şöhläniň defolýasiýasyna ýokary tizlikli we ýokary takyklyk gözegçiligi;
3. speedokary tizlikli we ýokary takyklykly uly formatly mikro deşik gaýtadan işlemek, mikron derejeli ýokary tizlikli çyzykly motor platformasynyň terjimesi arkaly amala aşyrylýar;
4. Z-oky dürli galyňlykdaky materiallara uýgunlaşmak we çukurlary gaýtadan işlemegiň aýratyn talaplaryny kanagatlandyrmak üçin elektrik bilen sazlanýar;
5. Aralyk ok super çözgütli senagat kamerasy, galvanometri doly çarçuwaly ýalňyşlary düzetmek, ultra-ýokary takyklyk we ulgamyň uzak möhletli durnuklylygyny we takyklygyny üpjün etmek üçin onlaýn ölçeg üçin ulanylýar;
6. Ulgam umumy durnuklylygyny ýokarlandyrmak üçin mermer örtükleri kabul edýär we uzak möhletli takyklygy üpjün etmek üçin ähli mehaniki komponentler seresaplylyk bilen saýlanýar;
7. Iň az gaýtadan işleýän mikroporyň diametri 5μm, gaýtadan işlemegiň umumy takyklygy ± 4μm, ýerli aýratynlygyň takyklygy 3μm-den az, gaýtadan işlemegiň ini 300 * 300mm;
8. Metallary, keramikany, kremniý wafli, aýna, organiki we mikro deşikleri gaýtadan işlemek we takyk kesmek ýaly beýleki materiallary takyk mikromachinirlemek üçin ulanylýar.
EDM mikro deşikleri gaýtadan işlemek, mehaniki burawlamak, himiki poslama, mehaniki zarba we ş.m. bilen deňeşdirilende, lazer takyklygy mikro deşik işlemegiň aşakdaky artykmaçlyklary bar:
Speedokary tizlik (sekuntda 4000 deşik)
Precokary takyklyk (<3μm)
Maddy çäklendirmeler ýok (metallar, keramika, kremniý wafli, organika we ş.m.)
Programmirläp boljak deşik nagşy (iň az 5μm, ýörite çukur)
Paýlaýyş aýratynlaşdyrylyp bilner (gaýtadan işlemegiň ini 300mm * 300mm), galyndy we maska gerek däl
Hapalanma we sarp ediş serişdeleri ýok
göni işlemek
| Harytlar | Parametr | FM-UVM3A | FM-UVM3B |
| Lazer | tolkun | 355nm | |
| Kuwwat | ＞ 3W @ 40kHz （3-40W islege bagly） | ||
| ýygylygy modulirlemek | 1 ~ 200kHz | ||
| Impulsyň ini | 15ns @ 40kHz | ||
| şöhläniň hili | ＜ 1.2 | ||
| Galvo | Meýdany skanirläň | ＜ 50 * 50mm | ＜ 15 * 15mm |
| Gaýtalama takyklygy | ＜ 1um | ||
| Positionerleşiş takyklygy | ≤ um 3um | ||
| XY tablisalar | Syýahat | 300 * 300mm （600 * 600mm goşmaça） | |
| Positionerleşiş çözgüdi | 0.1um | ||
| Gaýtalama takyklygy | ≤ ± 1um | ||
| Positionerleşiş takyklygy | ≤ um 3um | ||
| Tizlenme | ≤1G | ||
| Tizlik | ≤200mm / s | ||
| Z oky | Syýahat | 150mm | |
| Gaýtalama takyklygy | ≤ um 3um | ||
| Positionerleşiş takyklygy | ≤ um 5um | ||
| KCD gözegçilik ýagdaýy | Kamera | bäş megapiksel | |
| Optiki ulaltmak | 10X | ||
| sebit bölünişi | takyklygy | ± 3μm | |
| Gaýtadan işlemek | Iň pes ýer | 8um | 5um |
| Deşik gaýtadan işlemegiň takyklygy | ± 5um | ||
| Gaýtalama takyklygy | ≤ ± 1um | ||
| Gözleg üçin elýeterli materiallar | Aýna, organika, metallar, keramika we ş.m. | ||
| GGGGA | Turba çüýşesi | ok | gowy |
| çüýşe öl | ok | gowy | |
| Plastik çüýşe | gowy däl | ok | |
| Softumşak haltalar | Elýeterli däl | ok | |
| Sowuklama ulgamy | Suw sowadyjy (1500W sowadyş kuwwaty) | ||
| Elektrik üpjünçiligi | 220V, 50 ~ 60HZ, 1 faza ýa-da özleşdirilen | ||
| Kuwwat | 0002000W | ||
| Ölçeg (mm) | 1200 * 1200 * 1900mm | ||
| Agramy (KG) | 1200Kg | ||
Bellik: 30 minut gyzdyrylandan soň alynýan yzygiderli temperatura (25 ± 0,5 ℃)
