ម៉ាស៊ីនកាត់ឡាស៊ែរ Micropore សម្រាប់ semiconductor
អង្កត់ផ្ចិត micropore ដំណើរការអប្បបរមាគឺ 5μm ភាពត្រឹមត្រូវនៃដំណើរការទាំងមូលគឺ ± 4μm ភាពត្រឹមត្រូវនៃលក្ខណៈមូលដ្ឋានគឺតិចជាង 3μm និងទទឹងដំណើរការគឺ 300 * 300mm ។.
ប្រើជាចម្បងសម្រាប់៖ ការផលិតឧបករណ៍មីក្រូអេឡិចត្រូនិច ការរៀបចំពុម្ពបោះពុម្ព ការរៀបចំជីវបន្ទះ ការបង្កើតផ្សិតច្បាស់លាស់ ការផលិតផ្នែកភាពជាក់លាក់ឧបករណ៍
1. ការប្រើឡាស៊ែរកាំរស្មីយូវីដែលមានថាមពលខ្ពស់ និងស្ថេរភាពខ្ពស់ដើម្បីបំប្លែងសារធាតុឧស្ម័នដោយផ្ទាល់ ដោយមានជំរៅដំណើរការកម្រិតμm និងតំបន់ដែលរងផលប៉ះពាល់ដោយកំដៅកម្រិតμm។
2. ការត្រួតពិនិត្យល្បឿនខ្ពស់និងភាពជាក់លាក់ខ្ពស់នៃការផ្លាតរបស់ធ្នឹមតាមរយៈ galvanometers ភាពជាក់លាក់ដែលបាននាំចូលដើម្បីសម្រេចបាននូវល្បឿនខ្ពស់ដំណើរការមីក្រូរន្ធខ្នាតតូចដែលមានល្បឿនលឿន;
3. ដំណើរការមីក្រូរន្ធទ្រង់ទ្រាយធំដែលមានល្បឿនលឿន និងមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ត្រូវបានដឹងដោយការបកប្រែនៃវេទិកាម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរល្បឿនលឿនកម្រិតមីក្រូ។
4. អ័ក្ស Z គឺអាចលៃតម្រូវដោយអគ្គិសនីដើម្បីសម្របខ្លួនទៅនឹងវត្ថុធាតុដើមដែលមានកម្រាស់ខុសៗគ្នា និងបំពេញតាមតម្រូវការដំណើរការរន្ធ taper ជាក់លាក់។
5. ជួរអ័ក្សកាមេរ៉ាឧស្សាហកម្មដែលមានដំណោះស្រាយទំនើបត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការកែកំហុសស៊ុមពេញលេញនៃ galvanometer ការផ្តោតអារម្មណ៍ភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ និងការវាស់វែងតាមអ៊ីនធឺណិត ដើម្បីធានាបាននូវស្ថេរភាព និងភាពត្រឹមត្រូវរយៈពេលវែងនៃប្រព័ន្ធ។
6. ប្រព័ន្ធទទួលយក countertops ថ្មម៉ាបដើម្បីបង្កើនស្ថេរភាពទាំងមូលនៃប្រព័ន្ធ, និងសមាសភាគមេកានិចទាំងអស់ត្រូវបានជ្រើសរើសដោយប្រុងប្រយ័ត្នដើម្បីធានាបាននូវភាពត្រឹមត្រូវរយៈពេលវែង;
7. អង្កត់ផ្ចិត micropore ដំណើរការអប្បបរមាគឺ 5μm ភាពត្រឹមត្រូវនៃដំណើរការទាំងមូលគឺ ± 4μm ភាពត្រឹមត្រូវនៃលក្ខណៈមូលដ្ឋានគឺតិចជាង 3μm និងទទឹងដំណើរការគឺ 300 * 300mm;
8. វាត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការកិនមីក្រូម៉ាសុីនដ៏ជាក់លាក់នៃលោហធាតុ សេរ៉ាមិច ស៊ីលីកុន វ៉ាហ្វឺរ កញ្ចក់ សារធាតុសរីរាង្គ និងវត្ថុធាតុផ្សេងទៀត ដូចជាការកែច្នៃមីក្រូរន្ធ និងការកាត់ភាពជាក់លាក់។
បើប្រៀបធៀបជាមួយនឹងដំណើរការមីក្រូរន្ធ EDM ការខួងមេកានិច ការច្រេះគីមី ការដាល់មេកានិចជាដើម។ ភាពជាក់លាក់ឡាស៊ែរម៉ាស៊ីនមីក្រូរន្ធមានគុណសម្បត្តិដូចខាងក្រោមៈ
ល្បឿនខ្ពស់ (រហូតដល់ 4000 រន្ធក្នុងមួយវិនាទី)
ភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ (<3μm)
គ្មានការរឹតបន្តឹងលើសម្ភារៈ (លោហៈ សេរ៉ាមិច ស៊ីលីកុន វ៉ាហ្វឺរ សារធាតុសរីរាង្គ។ល។)
លំនាំរន្ធដែលអាចសរសេរកម្មវិធីបាន (អប្បបរមា 5μm រន្ធ taper ជាក់លាក់)
ការចែកចាយអាចត្រូវបានប្ដូរតាមបំណង (ទទឹងដំណើរការ 300mm * 300mm) មិនត្រូវការផ្សិតនិងរបាំង
គ្មានការបំពុល និងគ្មានសម្ភារៈប្រើប្រាស់
ដំណើរការដោយផ្ទាល់
ធាតុ | ប៉ារ៉ាម៉ែត្រ | វិទ្យុ FM-UVM3A | វិទ្យុ FM-UVM3B |
ឡាស៊ែរ | រលក | 355nm | |
ថាមពល | 3W@40kHz (ស្រេចចិត្ត 3-40W) | ||
ប្រេកង់ម៉ូឌុល | 1 ~ 200kHz | ||
ទទឹងជីពចរ | 15ns@40kHz | ||
គុណភាពធ្នឹម | ១.២ | ||
Galvo | តំបន់ស្កេន | 50 * 50 ម។ | 15*15 ម។ |
ភាពត្រឹមត្រូវនៃការធ្វើម្តងទៀត | ១ យូ | ||
ភាពត្រឹមត្រូវនៃទីតាំង | ≤± 3um | ||
តារាង XY | ការធ្វើដំណើរ | 300 * 300 មម (ស្រេចចិត្ត 600 * 600 មម) | |
ដំណោះស្រាយទីតាំង | 0.1 អឹម | ||
ភាពត្រឹមត្រូវនៃការធ្វើម្តងទៀត | ≤± 1um | ||
ភាពត្រឹមត្រូវនៃទីតាំង | ≤± 3um | ||
ការបង្កើនល្បឿន | ≤1G | ||
ល្បឿន | ≤200mm/s | ||
អ័ក្ស Z | ការធ្វើដំណើរ | 150 ម។ | |
ភាពត្រឹមត្រូវនៃការធ្វើម្តងទៀត | ≤± 3um | ||
ភាពត្រឹមត្រូវនៃទីតាំង | ≤±5um | ||
ការត្រួតពិនិត្យទីតាំងរបស់ CCD | កាមេរ៉ា | ប្រាំមេហ្គាភិចសែល | |
ការពង្រីកអុបទិក | 10X | ||
ការបំបែកតំបន់ | ភាពត្រឹមត្រូវ | ± 3 μm | |
ដំណើរការ | កន្លែងអប្បបរមា | ៨ ម | 5 ម |
ភាពត្រឹមត្រូវនៃដំណើរការរន្ធ | ± 5um | ||
ភាពត្រឹមត្រូវនៃការធ្វើម្តងទៀត | ≤± 1um | ||
សម្ភារៈដែលអាចរកបានសម្រាប់ដំណើរការ | កញ្ចក់ សរីរាង្គ លោហធាតុ សេរ៉ាមិច ។ល។ | ||
កម្មវិធី GGGGA | ដបបំពង់ | ok | ល្អ |
ដបស្លាប់ | ok | ល្អ | |
ដបជ័រ | មិនល្អ | ok | |
កាបូបទន់ | មិនមានទេ។ | ok | |
ប្រព័ន្ធ Coolant | ទឹកត្រជាក់ (សមត្ថភាពត្រជាក់ 1500W) | ||
ការផ្គត់ផ្គង់ថាមពល | 220V, 50 ~ 60HZ, 1 ដំណាក់កាល ឬប្ដូរតាមបំណង | ||
ថាមពល | ≤2000W | ||
រង្វាស់(mm) | 1200 * 1200 * 1900 មម | ||
ទំងន់ (KG) | 1200Kg |
ចំណាំ៖ សីតុណ្ហភាពថេរ (25 ± 0.5 ℃) ទទួលបានបន្ទាប់ពីកំដៅមុនរយៈពេល 30 នាទី។