ម៉ាស៊ីនកាត់ឡាស៊ែរ Micropore សម្រាប់ semiconductor

ការពិពណ៌នាសង្ខេប៖

កម្មវិធី: កញ្ចក់, សរីរាង្គ, លោហៈ, សេរ៉ាមិច, ល។

អង្កត់ផ្ចិតរន្ធអប្បបរមា: 5μm

ភាពត្រឹមត្រូវ: ± 4μm,

ភាពត្រឹមត្រូវនៃលក្ខណៈពិសេសក្នុងតំបន់៖ <3μm


ព័ត៌មានលម្អិតអំពីផលិតផល

ស្លាកផលិតផល

អង្កត់ផ្ចិត micropore ដំណើរការអប្បបរមាគឺ 5μm ភាពត្រឹមត្រូវនៃដំណើរការទាំងមូលគឺ ± 4μm ភាពត្រឹមត្រូវនៃលក្ខណៈមូលដ្ឋានគឺតិចជាង 3μm និងទទឹងដំណើរការគឺ 300 * 300mm ។.

ប្រើជាចម្បងសម្រាប់៖ ការផលិតឧបករណ៍មីក្រូអេឡិចត្រូនិច ការរៀបចំពុម្ពបោះពុម្ព ការរៀបចំជីវបន្ទះ ការបង្កើតផ្សិតច្បាស់លាស់ ការផលិតផ្នែកភាពជាក់លាក់ឧបករណ៍

1. ការប្រើឡាស៊ែរកាំរស្មីយូវីដែលមានថាមពលខ្ពស់ និងស្ថេរភាពខ្ពស់ដើម្បីបំប្លែងសារធាតុឧស្ម័នដោយផ្ទាល់ ដោយមានជំរៅដំណើរការកម្រិតμm និងតំបន់ដែលរងផលប៉ះពាល់ដោយកំដៅកម្រិតμm។

2. ការត្រួតពិនិត្យល្បឿនខ្ពស់និងភាពជាក់លាក់ខ្ពស់នៃការផ្លាតរបស់ធ្នឹមតាមរយៈ galvanometers ភាពជាក់លាក់ដែលបាននាំចូលដើម្បីសម្រេចបាននូវល្បឿនខ្ពស់ដំណើរការមីក្រូរន្ធខ្នាតតូចដែលមានល្បឿនលឿន;

3. ដំណើរការមីក្រូរន្ធទ្រង់ទ្រាយធំដែលមានល្បឿនលឿន និងមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ត្រូវបានដឹងដោយការបកប្រែនៃវេទិកាម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរល្បឿនលឿនកម្រិតមីក្រូ។

4. អ័ក្ស Z គឺអាចលៃតម្រូវដោយអគ្គិសនីដើម្បីសម្របខ្លួនទៅនឹងវត្ថុធាតុដើមដែលមានកម្រាស់ខុសៗគ្នា និងបំពេញតាមតម្រូវការដំណើរការរន្ធ taper ជាក់លាក់។

5. ជួរអ័ក្សកាមេរ៉ាឧស្សាហកម្មដែលមានដំណោះស្រាយទំនើបត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការកែកំហុសស៊ុមពេញលេញនៃ galvanometer ការផ្តោតអារម្មណ៍ភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ និងការវាស់វែងតាមអ៊ីនធឺណិត ដើម្បីធានាបាននូវស្ថេរភាព និងភាពត្រឹមត្រូវរយៈពេលវែងនៃប្រព័ន្ធ។

6. ប្រព័ន្ធទទួលយក countertops ថ្មម៉ាបដើម្បីបង្កើនស្ថេរភាពទាំងមូលនៃប្រព័ន្ធ, និងសមាសភាគមេកានិចទាំងអស់ត្រូវបានជ្រើសរើសដោយប្រុងប្រយ័ត្នដើម្បីធានាបាននូវភាពត្រឹមត្រូវរយៈពេលវែង;

7. អង្កត់ផ្ចិត micropore ដំណើរការអប្បបរមាគឺ 5μm ភាពត្រឹមត្រូវនៃដំណើរការទាំងមូលគឺ ± 4μm ភាពត្រឹមត្រូវនៃលក្ខណៈមូលដ្ឋានគឺតិចជាង 3μm និងទទឹងដំណើរការគឺ 300 * 300mm;

8. វាត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការកិនមីក្រូម៉ាសុីនដ៏ជាក់លាក់នៃលោហធាតុ សេរ៉ាមិច ស៊ីលីកុន វ៉ាហ្វឺរ កញ្ចក់ សារធាតុសរីរាង្គ និងវត្ថុធាតុផ្សេងទៀត ដូចជាការកែច្នៃមីក្រូរន្ធ និងការកាត់ភាពជាក់លាក់។

បើប្រៀបធៀបជាមួយនឹងដំណើរការមីក្រូរន្ធ EDM ការខួងមេកានិច ការច្រេះគីមី ការដាល់មេកានិចជាដើម។ ភាពជាក់លាក់ឡាស៊ែរម៉ាស៊ីនមីក្រូរន្ធមានគុណសម្បត្តិដូចខាងក្រោមៈ

ល្បឿនខ្ពស់ (រហូតដល់ 4000 រន្ធក្នុងមួយវិនាទី)

ភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ (<3μm)

គ្មានការរឹតបន្តឹងលើសម្ភារៈ (លោហៈ សេរ៉ាមិច ស៊ីលីកុន វ៉ាហ្វឺរ សារធាតុសរីរាង្គ។ល។)

លំនាំរន្ធដែលអាចសរសេរកម្មវិធីបាន (អប្បបរមា 5μm រន្ធ taper ជាក់លាក់)

ការចែកចាយអាចត្រូវបានប្ដូរតាមបំណង (ទទឹងដំណើរការ 300mm * 300mm) មិនត្រូវការផ្សិតនិងរបាំង

គ្មានការបំពុល និងគ្មានសម្ភារៈប្រើប្រាស់

ដំណើរការដោយផ្ទាល់

ធាតុ ប៉ារ៉ាម៉ែត្រ វិទ្យុ FM-UVM3A វិទ្យុ FM-UVM3B
ឡាស៊ែរ រលក 355nm
ថាមពល 3W@40kHz (ស្រេចចិត្ត 3-40W)
ប្រេកង់ម៉ូឌុល 1 ~ 200kHz
ទទឹងជីពចរ 15ns@40kHz
គុណភាពធ្នឹម ១.២
Galvo តំបន់ស្កេន 50 * 50 ម។ 15*15 ម។
ភាពត្រឹមត្រូវនៃការធ្វើម្តងទៀត ១ យូ
ភាពត្រឹមត្រូវនៃទីតាំង ≤± 3um
តារាង XY ការធ្វើដំណើរ 300 * 300 មម (ស្រេចចិត្ត 600 * 600 មម)
ដំណោះស្រាយទីតាំង 0.1 អឹម
ភាពត្រឹមត្រូវនៃការធ្វើម្តងទៀត ≤± 1um
ភាពត្រឹមត្រូវនៃទីតាំង ≤± 3um
ការបង្កើនល្បឿន ≤1G
ល្បឿន ≤200mm/s
អ័ក្ស Z ការធ្វើដំណើរ 150 ម។
ភាពត្រឹមត្រូវនៃការធ្វើម្តងទៀត ≤± 3um
ភាពត្រឹមត្រូវនៃទីតាំង ≤±5um

ការត្រួតពិនិត្យទីតាំងរបស់ CCD

កាមេរ៉ា ប្រាំមេហ្គាភិចសែល
ការពង្រីកអុបទិក 10X
ការបំបែកតំបន់ ភាព​ត្រឹមត្រូវ ± 3 μm
ដំណើរការ កន្លែងអប្បបរមា ៨ ម 5 ម
ភាពត្រឹមត្រូវនៃដំណើរការរន្ធ ± 5um
ភាពត្រឹមត្រូវនៃការធ្វើម្តងទៀត ≤± 1um
សម្ភារៈដែលអាចរកបានសម្រាប់ដំណើរការ កញ្ចក់ សរីរាង្គ លោហធាតុ សេរ៉ាមិច ។ល។
កម្មវិធី GGGGA ដបបំពង់ ok ល្អ
ដបស្លាប់ ok ល្អ
ដប​ជ័រ មិនល្អ ok
កាបូបទន់ មិនមានទេ។ ok
ប្រព័ន្ធ Coolant ទឹកត្រជាក់ (សមត្ថភាពត្រជាក់ 1500W)
ការផ្គត់ផ្គង់ថាមពល 220V, 50 ~ 60HZ, 1 ដំណាក់កាល ឬប្ដូរតាមបំណង
ថាមពល ≤2000W
រង្វាស់(mm) 1200 * 1200 * 1900 មម
ទំងន់ (KG) 1200Kg

ចំណាំ៖ សីតុណ្ហភាពថេរ (25 ± 0.5 ℃) ទទួលបានបន្ទាប់ពីកំដៅមុនរយៈពេល 30 នាទី។


  • មុន៖
  • បន្ទាប់៖

  • ទុកសាររបស់អ្នក (ឈ្មោះ អ៊ីមែល ទូរស័ព្ទ ព័ត៌មានលម្អិត)

    ផលិតផលដែលពាក់ព័ន្ធ