Nagy pontosságú lézeres perforáció üveghez és műanyaghoz

Jellemzők:

1. Nagy teljesítményű és nagy stabilitású UV-lézert használnak az elpárologtatott anyag közvetlen eltávolítására, μm-es hőhatás zónával és legalább 5 μm-es feldolgozási folttal.

2. A sugáreltolódást nagy sebességgel és nagy pontossággal vezérli a precíziós galvanométer a kis formátumú nagysebességű precíziós maratáshoz.

3. A nagy pontosságú mikrolyukak pontos pozicionálása és feldolgozása a nagy pontosságú fordítási szakasz fordításával valósul meg;

4. A Z-tengely elektromosan állítható a precíz fókuszálás érdekében, hogy megfeleljen a különböző vastagságú anyagok feldolgozási követelményeinek.

5. A távolságmérő nagy felbontású ipari kamera nagy pontosságú fókuszálása biztosítja a rendszer hosszú távú stabilitását és pontosságát.

6. A rendszer márvány munkalapokat alkalmaz a rendszer általános stabilitásának javítása érdekében, és minden mechanikai alkatrészt gondosan kiválasztottak a hosszú távú pontosság biztosítása érdekében.

7. Fémek, kerámiák, szerves anyagok, üveg és egyéb anyagok feldolgozására használható maratáshoz, zsákfuratokhoz, átmenő furatokhoz, hornyoláshoz, vágáshoz stb.

8. A minimális feldolgozási vonal szélessége kisebb, mint 5 μm.

Alkalmazási tartomány:

Félvezető flexibilis áramköri lap vágás, ITO filmmaratás, mikroelektronikai eszköz gyártás, nyomtatási sablon készítés, biochip készítés, precíziós mikro

Penészképződés

Tételek	Paraméter	FM-UVD5	FM-UVSD5	FM-UPVD12
Lézer	hullám	355 nm	355 nm	355 nm
	Erő	5W@30kHz	5W@30kHz	12W@100kHz
	moduláló frekvencia	1-200 kHz	1-200 kHz	1-2000 kHz
	Impulzus szélesség	20ns@30kHz	20ns@30kHz	7ns@100kHz
	gerenda minősége	＜1.3	＜1.3	＜1.3
Galvo	Szkennelési terület	＜50*50mm	＜50*50mm	＜50*50mm
	Ismételhetőségi pontosság	＜1 um	＜1 um	＜1 um
	Szkennelési sebesség	≤3m/s	≤3m/s	≤3m/s
	Pozícionálási sebesség	≤6 m/s	≤6 m/s	≤6 m/s
XY táblázatok	Utazás	–	300*300mm	300*300mm
	Ismételhetőségi pontosság	–	≤±5um	≤±1um
	Pozícionálási pontosság	–	≤±25um	≤±3um
Z tengely	Utazás	50 mm	50 mm	50 mm
	Ismételhetőségi pontosság	≤±3um	≤±3um	≤±3um
	Pozícionálási pontosság	≤±15um	≤±15um	≤±15um
CCD megfigyelő pozicionálás	Kamera	öt megapixeles	öt megapixeles	öt megapixeles
	Optikai nagyítás	8X	8X	8X
Feldolgozás	Minimális hely	5um	5um	5um
	A furatfeldolgozás pontossága	±5um	±5um	±5um
	Ismételhetőségi pontosság	≤±2um	≤±2um	≤±2um
	A feldolgozáshoz rendelkezésre álló anyagok	Üveg fém, 有机物等
Alkalmazás	Pipe palack	ok	jó	jó
	die palack	ok	jó	jó
	Műanyag palack	nem jó	ok	jó
	Puha táskák	Nem elérhető	ok	jó
Hűtőfolyadék rendszer	Vízhűtő folyadék (1500W hűtőteljesítmény)
Tápegység	220V, 50-60HZ, 1 fázis vagy egyedi
Mérték (mm)	1500*1000*1800			1600*1300*1800
Súly (KG)	1500			2000
Feldolgozott minták mikroszkópos mérési befejezése

Megjegyzés: Állandó hőmérséklet (25±0,5 ℃), 30 perces előmelegítés után