Augstas precizitātes lāzera perforācija stiklam un plastmasai

Iespējas:

1. Lieljaudas un stabils UV lāzers tiek izmantots, lai tieši noņemtu iztvaicēto materiālu ar μm līmeņa siltuma ietekmēto zonu un minimālo apstrādes vietu 5 μm.

2. Staru nobīdi lielā ātrumā un augstu precizitāti kontrolē precīzs galvanometrs, lai realizētu maza formāta ātrgaitas precizitātes kodināšanu.

3. Augstas precizitātes mikrocaurumu precīza pozicionēšana un apstrāde tiek realizēta ar augstas precizitātes tulkošanas stadijas tulkošanu;

4. Z-ass ir elektriski regulējama precīzai fokusēšanai, lai atbilstu dažāda biezuma materiālu apstrādes prasībām.

5. Tālmēra augstas izšķirtspējas industriālās kameras augstas precizitātes fokusēšana nodrošina sistēmas ilgtermiņa stabilitāti un precizitāti.

6. Sistēma izmanto marmora virsmas, lai uzlabotu sistēmas vispārējo stabilitāti, un visas mehāniskās sastāvdaļas ir rūpīgi atlasītas, lai nodrošinātu ilgtermiņa precizitāti.

7. To var izmantot metālu, keramikas, organisko vielu, stikla un citu materiālu apstrādei, lai panāktu kodināšanu, aklos caurumus, caurumus, rievojumu, griešanu utt.

8. Minimālais apstrādes līnijas platums ir mazāks par 5μm.

Pielietojuma diapazons:

Pusvadītāju elastīgās shēmas plates griešana, ITO plēves kodināšana, mikroelektronisko ierīču ražošana, drukas veidņu sagatavošana, biočipu sagatavošana, precīza mikro

Pelējuma veidošanās

Preces	Parametrs	FM-UVD5	FM-UVSD5	FM-UPVD12
Lāzers	vilnis	355 nm	355 nm	355 nm
	Jauda	5W@30kHz	5W@30kHz	12W@100kHz
	modulējošā frekvence	1 ~ 200 kHz	1 ~ 200 kHz	1 ~ 2000 kHz
	Impulsa platums	20ns@30kHz	20ns@30kHz	7ns@100kHz
	staru kvalitāte	＜1.3	＜1.3	＜1.3
Galvo	Skenēšanas apgabals	＜50*50mm	＜50*50mm	＜50*50mm
	Atkārtojamības precizitāte	＜1 um	＜1 um	＜1 um
	Skenēšanas ātrums	≤3m/s	≤3m/s	≤3m/s
	Pozicionēšanas ātrums	≤6m/s	≤6m/s	≤6m/s
XY tabulas	Ceļot	–	300*300mm	300*300mm
	Atkārtojamības precizitāte	–	≤±5 um	≤±1 um
	Pozicionēšanas precizitāte	–	≤±25 um	≤±3 um
Z ass	Ceļot	50 mm	50 mm	50 mm
	Atkārtojamības precizitāte	≤±3 um	≤±3 um	≤±3 um
	Pozicionēšanas precizitāte	≤±15 um	≤±15 um	≤±15 um
CCD uzraudzības pozicionēšana	Kamera	piecu megapikseļu	piecu megapikseļu	piecu megapikseļu
	Optiskais palielinājums	8X	8X	8X
Apstrāde	Minimālā vieta	5um	5um	5um
	Caurumu apstrādes precizitāte	±5 um	±5 um	±5 um
	Atkārtojamības precizitāte	≤±2 um	≤±2 um	≤±2 um
	Pieejamie materiāli apstrādei	Stikls metāls, 有机物等
Pieteikums	Caurules pudele	ok	labi	labi
	mirst pudele	ok	labi	labi
	Plastmasas pudele	nav labi	ok	labi
	Mīkstas somas	Nav pieejams	ok	labi
Dzesēšanas šķidruma sistēma	Ūdens dzesēšanas šķidrums (1500W dzesēšanas jauda)
Enerģijas padeve	220 V, 50 ~ 60 HZ, 1 fāze vai pielāgots
Mērījums (mm)	1500*1000*1800			1600*1300*1800
Svars (KG)	1500			2000. gads
Apstrādāto paraugu mikroskopiskā mērījumu apdare

Piezīme: Pastāvīga temperatūra (25±0,5℃), kas iegūta pēc 30 minūšu iepriekšējas uzsildīšanas